トラッキングオートフォーカス
ATF4
ATF4は、ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、
高速・高精度トラッキングを提供します。
世界有数の液晶検査・リペア装置に搭されその性能は実証済みです。
対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、
原理的にはゼロフォーカスタイムの、理想的なトラッキングを実現しました。
カメラ、フレームグラバボード不要で、コンパクト・軽量です。
仕様
ATF4 Sensor
| Structured Light Pattern | Single Dot |
|---|---|
| Sensor Wavelength | Choice of 660nm, 785nm or 850nm |
| Image Detector | Line Scan CMOS |
| Static Autofocus Accuracy | ± 1/4 Objective Depth of Focus |
| Fast Tracking Autofocus Accuracy | ± 1/2 Objective Depth of Focus |
General Performance
| Reflectivity Adaption Delay | 1ms |
|---|---|
| Laser Type | Semiconductor |
| Laser Safety | Class 2 |
| Weight | 250g |
| Dimensions | 40 X 40 X 120mm |
| Maximum Cable Length | 1.8m |
| Compliance | CE SEMI |
External Requirements
| Specimen Reflectivity | 1% ~ 99% |
|---|---|
| Glass Thickness | > 0.5mm |
| Diffusing Specimen | No |
| Specular Specimen | Yes |
| Patterned Specimen | No |
| Textured Specimen | No |
Operating Specifications
| Input Voltage | 18V ~ 25V, 24V Nominal |
|---|---|
| Operating Temperature | 18°C ~ 35°C |
| Storage Temperature | 10°C ~ 45°C |
| Humidity | 10% ~ 75% Non Condensing |
図面
技術資料
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