- 新製品
ミツトヨVMU対応｜AF機能搭載
モジュール式顕微鏡システム
Mitutoyo VMU and WDI
ミツトヨVMUを高度な自動顕微鏡システムへ
WDI社は、要求の厳しい検査用途に向けて、最先端のOEM自動顕微鏡システムおよび高精度コンポーネントを設計・製造しています。ミツトヨ製ビデオマイクロスコープユニット（VMU）にWDI社の自動化コンポーネントを組み合わせることで、既存のイメージングシステムを高度な顕微鏡オートメーションソリューションへと拡張できます。
WDIによるインテグレーションにより、ミツトヨVMUの標準機能に、高精度Zステージ、高速レーザーAFユニット、高速リニアレンズチェンジャー、各種照明オプションを追加できます。
特長
-
高精度電動Zステージ
Z軸を組み込むことで、最大40 nm分解能の滑らかでプログラム可能な垂直移動を実現し、精密なフォーカス制御が可能です。
-
ダイナミックレーザーAFセンサー
表面の変動をリアルタイムで追尾し、高速移動中もフォーカスを維持します。
-
自動レンズチェンジャー
リニアレンズチェンジャーにより、
対物レンズを高速かつ高精度に切り替えられます。
-
高機能照明
可視光からSWIRまでの複数波長に対応し、複数の動作モードをサポートします。
-
コンパクトで高剛性な設計
VMUのコンパクトで軽量なフォームファクターを維持しながら、
OEMシステムへの組込みに適した堅牢なハードウェアを統合します。
- Standard、Wide、Wide HRの各VMUモデルに対応
アプリケーション
- 自動光学検査（AOI）
-
半導体・MEMSデバイス検査
- LCD薄膜およびシリコン基板の厚さ測定
- 自動レーザーピーリング、切断、欠陥修復
- 細胞、およびマイクロ流体解析
基本構成
ミツトヨVMUモデルに対応したWDIの各種コンポーネントを、コンパクトな構成で統合できます。
アプリケーションの要件に応じて、柔軟なシステムカスタマイズとモジュール機能の拡張が可能です。
-
①PFA-LNオートフォーカスセンサー
PFA-LNセンサーは、450、660、785、850nmの波長に対応し、WDIのZ軸アクチュエーター、LLCリニアレンズチェンジャー、1.5AのLED×2または3AのHPLED×1を制御する中央コントローラーとして機能します。
-
②Z軸アクチュエーター
制御機能と通信機能が、単一ユニットのZ軸ステージに統合され、改良されたマイクロステッピング性能の向上により、40nmまでの分解能を実現。単一または複数対物レンズ構成まで、幅広い用途で使用可能です。
-
③同軸照明
同軸落射照明用として、長寿命の1.5A、または3A LEDを装備可能です。いずれもZ軸ステージから直接、電源供給と制御が可能です。また、連続スキャン用途向けに、オプションで5A HPLED、および高速パルスRGB照明も利用可能です
-
④リニアレンズチェンジャー
レンズチェンジャーに制御機能と通信機能が、レンズチェンジャーに統合されました。設置スペースに制約がある場合は、物理コントローラーを本体に取り付けることも、分離して配置することも可能です。
2～5本の対物レンズに対応する各種レンズチェンジャーモデルと、選択可能なインサートを用意しています。（メーカー問わず）をサポートします。
この製品に関するお問合せフォーム
フォームが表示されるまでしばらくお待ちください。
しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合、恐れ入りますが こちら までお問合せください。