- 新製品
SWIR対応｜AF機能搭載
モジュール式顕微鏡システム
SWIR & VIS MMS
次世代SWIRイメージング
WDIの新しいLEDベースのSWIRモジュラー顕微鏡システム（SWIR MMS）は、コンパクトでメンテナンス性に優れたソリューションです。卓越した画質、安定した性能、長寿命、そして多様な照明オプションにより、信頼性の高いSWIRおよび可視光イメージングを実現します。
特長
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表面・深部オートフォーカス
SWIR MMSに、WDIのPFA-LNオートフォーカスセンサーとOptical Offset Adjuster（OOA）を組み合わせることで、サンプル表面への高速なオートフォーカス追従を実現します。さらに、表面にフォーカスを合わせながら、深部にある内部構造を同時にイメージングできます。
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長期にわたる安定性
SWIR LEDベースの照明は、安定した分光出力と長寿命性能を提供します。長期間にわたり再現性の高いイメージングを実現し、ハロゲンランプ交換の手間も不要にします。
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シングル／デュアルモード照明
単一波長のSWIR照明、またはSWIRと可視光を組み合わせた照明を、1つの光学パッケージで提供します。個別の光源、頻繁な再構成、かさばる外部ソリューションが不要になります。
アプリケーション
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幅広い表面・内部構造の検出
SWIR照明は、シリコンを含む多くの材料を透過し、可視光照明では確認できない内部構造や埋もれた特徴を可視化します。SWIR MMSは、SWIR照明と可視光照明の両方の能力を、コンパクトな1つのソリューションに統合しています。
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広帯域SWIR／単一波長SWIRオプション
広帯域SWIRは、強力かつ幅広い波長範囲の照明により、高コントラストなイメージングを実現します。SWIR領域における材料固有の分光特性を活用することで、埋もれた構造や欠陥を可視化できます。さらに、特定の材料や観察対象に合わせて選択できる、6種類の単一波長SWIRオプションも用意されています。
*最適なコントラストが得られる波長は、材料によって異なります。このサンプルでは、1550 nmで最も高いコントラストが得られました。広帯域照明により、単一波長のSWIR照明では見えない構造を可視化できます。
セットアップ事例
- PFA-LN Autofocus Sensor
- High Resolution MMS
- 1X C-Mount Camera Tube
- iZAA-SO Z Stage
- Broadband SWIR and VisibleIlluminator
- PFA-LN Autofocus Sensor
- High Resolution MMS
- 1X C-Mount Camera Tube
- iZAA-MO Z Stage
- iLLC-SM Lens Changer
- Single SWIR Illuminator
SWIR照明 オプション
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①デュアルカメラMMS
WDIのSWIR MMSシステムは、2つのカメラポート（可視光カメラ／SWIRカメラ）とデュアルチャンネル照明を備えています。性能や画質を損なうことなく、表面構造と内部構造を高速にイメージングできます。
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②SWIR ＆可視光照明
従来のイメージングに用いられる可視光照明と、多波長SWIR照明を、1つのソリューションで提供します。
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③カメラ用バンドパスフィルター
カメラ用バンドパスフィルターを使用することで、特に広帯域SWIR照明において、用途に応じた波長選択フィルタリングが可能になります。手動で交換できる単一フィルターホルダーに加え、自動化アプリケーションに適した電動フィルターホイールのオプションも用意されています。
SWIR照明 仕様
SWIR & 可視光 LED照明
| SWIR & Visible LED Illuminators | Single SWIR | Single SWIR & Visible | Broadband SWIR | Broadband SWIR & Visible |
|---|---|---|---|---|
| # of Channels | 1 | 2 | 1 | 2 |
| SWIR Wavelength Options | 1150, 1200,1300, 1370, 1450, 1550 nm | 1150, 1200,1300, 1370, 1450, 1550 nm | Approximately 1150 to 1650 nm (see plot below) | Approximately 1150 to 1650 nm (see plot below) |
| Maximum Current | 1.5 A per Channel | 1.5 A per Channel | 1.5 A per Channel | 1.5 A per Channel |
| Compatible Controllers | iZAA/iZPS Stages, CTR-AFML, and compatible standalone controllers | iZAA/iZPS Stages, CTR-AFML, and compatible standalone controllers | iZAA/iZPS Stages, CTR-AFML, and compatible standalone controllers | iZAA/iZPS Stages, CTR-AFML, and compatible standalone controllers |
| Controller Operating Modes | Continuous, Pulse Width Modulation, Pulse Follow, Pulse Trigger | Continuous, Pulse Width Modulation, Pulse Follow, Pulse Trigger | Continuous, Pulse Width Modulation, Pulse Follow, Pulse Trigger | Continuous, Pulse Width Modulation, Pulse Follow, Pulse Trigger |
MMS部品 仕様
PFA-LN Autofocus Sensor
| Structured Light Pattern | Line |
|---|---|
| レーザー波長オプション |
450 nm [1.1 mW] / 660 nm [1.1 mW] / 785 nm [0.9 mW] / 850 nm [1.1 mW] |
| Laserクラス | Class 3R |
| Standoff Distance | 300 mm maximum |
| IEC Certification | 61326-1, 61010-1 and 60825-1 |
|---|---|
| PC通信 | Gigabit Ethernet, RS485 |
| サンプリングレート | Up to 3kHz |
| Static Autofocus Repeatability | ± 0.25 Objective DOF or better |
| Tracking Autofocus Repeatability | ± 0.33 Objective DOF or better |
統合型Z軸アクチュエーター
| Integrated Z-Stages | iZAA-SO | iZAA-MO | iZPS |
|---|---|---|---|
| Objectives/Compatible Lens Changers | Single Objective (No Lens Changer) |
Single Objective or LLC2, LLC3, iLLC-SM, sLLC-SM | iLLC-LG, sLLC-LG, Rotary |
| Motion Type | 2 Phase Stepper with Integrated Controller | 2 Phase Stepper with Integrated Controller | 2 Phase Stepper with Integrated Controller |
| Travel Range | 10 mm (± 5 mm) | 10 mm (± 5 mm) | 10 mm (± 5 mm) |
| Maximum Resolution (1/64 microstep) | 39 nm/step | 39 nm/step | 47 nm/step |
| Maximum Load | 1.0 kg | 3.5 kg | 6.5 kg |
| Illuminator Support ※1 | Two 1.5 A or One 3 A LED Illuminator | Two 1.5 A or One 3 A LED Illuminator | Two 1.5 A or One 3 A LED Illuminator |
リニアレンズチェンジャー
| Linear Lens Changer | LLC2 | LLC3 | iLLC-SM | iLLC-LG |
|---|---|---|---|---|
| Maximum # of Objectives | 2 | 3 | 3 to 5 | 3 to 6 |
| Objectives Supported ※2 | Typically Mitutoyo | Typically Mitutoyo | Mitutoyo, Olympus, Zeiss, Nikon, Leica, mag.x, etc. | Mitutoyo, Olympus, Zeiss, Nikon, Leica, mag.x, etc. |
| Motion Type | Direct Drive Linear Motor | Direct Drive Linear Motor | Direct Drive Linear Motor | Direct Drive Linear Motor |
| Encoder | Linear Incremental Optical Encoder 78 nm Resolution | Linear Incremental Optical Encoder 78 nm Resolution | Linear Incremental Optical Encoder 78 nm Resolution | Linear Incremental Optical Encoder 78 nm Resolution |
| Positioning Repeatability | +/-0.25 µm | +/-0.25 µm | +/-0.25 µm | +/-0.25 µm |
| Bearings | High Precision Crossed-Roller with Anti-Creep | High Precision Crossed-Roller with Anti-Creep | High Precision Crossed-Roller with Anti-Creep | High Precision Crossed-Roller with Anti-Creep |
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※1広帯域SWIR照明、単一波長SWIR照明、または可視光照明は、それぞれ1.5 Aの1チャネルとして扱われます。
すべての照明オプションは、内蔵Zステージまたは別体コントローラーから駆動できます。 -
※2その他の対物レンズアダプターについては、お問合せください。
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