赤外レーザー走査型共焦点顕微鏡
IRLC

目に見えない表面下の欠陥検査に

マイクロクラック、マイクロボイド（微細空孔）のような、目に見えない表面下の欠陥や製造上の欠陥は見過ごされることが多いです。製造中の高濃度でのドーピングは、ウエハやチップパッケージの非破壊検査/観察を非常に難しくします。近赤外（NIR）または赤外（IR）光源を使った、スタンダードな広域検査ツールは存在しまが、これらのシステムでは深く浸透させることができず、特定のフォーカス面で選択的に画像化することしかできません。

赤外レーザー走査型共焦点顕微鏡 IRLC / LSCM データシート

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特長
仕様
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特長

シリコン内部の検査を実現する近赤外共焦点顕微鏡

パワフルな近赤外レーザーとスキャニング共焦点顕微鏡を組み合わせることにより従来の広域IR顕微鏡システムに、さらにいくつかのユニークな利点が生まれました。
まずは、透明や半透明サンプルの表面下の薄い部分または光学切片の高分解能画像の作成です。
また、このシステム構成により、ターゲットへのより深い浸透、より高い分解能、高速画像収集にもつながります。

ブラックマトリックス下のトランジスタ構造を映し出すTFTアレイの20X NIR共焦点画像

ブラックマトリック下に隠れた、トランジスタを持つ (TFT) アレイの20X明視野画像

ブラックマトリックス下のトランジスタ構造を映し出すTFTアレイの20X NIR共焦点画像

フォーカスしたままワンクリックで継続的デュアル観測

IRLC には、カラー CMOS カメラと明視野イメージングのための LED 照明システムが含まれ、オペレータが目的とするエリアをすばやく捉えることができます。
表面検査用システムは、近赤外レーザーとスキャニング共焦点顕微鏡を搭載しています。
この組み合わせで、サンプルの表面下 800µm までのより深い画像化が可能です。
ワンクリックでこの観察方法を切り替えられます。
IRLCは、WDIのオートフォーカス 6 センサー (ATF6)、光学オフセットアジャスタ (OOA) と速Z軸アクチュエーター (ZAA) 技術を使用し、観測方法や表面計測の変化に関わらず一定のフォーカスにとどまります。

リニアXY測定と高度な画像取得が可能

ソフトウエア内の測定タブで、リニア XY「点から点」と「点から多点」測定が可能です。
測定は、ソフトウエア内に表形式で記録および保存され、分析用に .csv でエクスポートもできます。
システムには、高度な画像取得オプションがあり、フレームの平均化、平均化された画像、最大 Z 投影デルタ Z オーバーレイおよび２点画像シーケントキャプチャ間の一画像シーケンスの取得などができます。

検査ルーチンの完全自動化

IRLC に統合されたモータリゼーション、オートフォーカスを自動化コントロールソフトウエアと組み合わせることにより、完全自動化検査ルーチンをおこなうよう設定することができます。
簡単かつ直感的なユーザーインターフェースを通し、ROI、倍率、深さや照明の輝度設定などの様々な個々の位置パラメーターを定義できます。
これらのルーチンは、複数サンプルに対して実行可能で、検査プロセスの完全自動化を実現します。

高スループット検査用レシピの作成

IRLC は、ウエハやICストリップとトレーパッケージ両方の完全検査レシピの作成と実行をおこなうことができます。
ウエハ、トレーまたはストリップとICパラメーターの定義は、画像インターフェースを通して簡単にできます。
コーナ検出機能はアライメントに関係なく、IC 位置登録を自動化します。
一度レシピが作成されると、レシピは他の個々のサンプル、またはトレー全体やデバイスのストリップに対して実行され、検査の精度や信頼性や全体のより良い効率を確証します。

仕様

CATEGORY	SPECIFICATION	IRLC SYSTEM	LSCM SYSTEM
General System	System class	Class 1	Class 1
	Observation methods	NIR laser scanning confocal, conventional brightfield	NIR laser scanning confocal, conventional brightfield
	Electrical	3 separate AC outlets, 100-240 V, 50/60 Hz, single phase	3 separate AC outlets, 100-240 V, 50/60 Hz, single phase
	Current	13.0 A total system	13.0 A total system
	Operating temperature	10℃ to 30℃ ambient	10℃ to 30℃ ambient
	Operating humidity	< 70% non-condensing	< 70% non-condensing
	Weight (main unit)	900 kg	175 kg
Lens Changer	Motorized turret	6 lens capacity	6 lens capacity
Z Stage Jack	Stroke	Motorized, 50 mm stroke	Manual, 75 mm stroke
Motorized Z Actuator (Hybrid ZAA also available for high speed IRLC)	Type	1/32 stepper motor	1/32 stepper motor
	Travel	10 mm	10 mm
	Resolution	0.157 μm	0.250 μm
	Maximum speed	10 mm/sec	10 mm/sec
	Maximum load	3.5 kg	3.5 kg
Motorized XY Stage (Manual stage also available for LSCM)	Type	Linear encoder stepper motor	Linear encoder stepper motor
	Travel	300 mm x 300 mm	200 mm x 200 mm
	Resolution	0.1 μm	0.1 μm
	Maximum speed	120 mm/sec	120 mm/sec
	Accuracy	20 μm/300 mm	20 μm/300 mm
	Repeatability	1 μm	1 μm
	Maximum load	1 kg	1 kg
Autofocus	Structured light pattern	Line segment	Line segment
	Sensor wavelength	658 nm	658 nm
	Image detector	Area scan CMOS	Area scan CMOS
Motorized OOA	Depth range	0 to 800 μm	0 to 800 μm
Brightfield Illumination	Type	Super bright white LED	Super bright white LED
Brightfield CMOS Camera	Size	1/2 inch 2 MP CMOS	1/2 inch 2 MP CMOS
	Resolution	1600 X 1200	1600 X 1200
	Frame rate	10 FPS full resolution	10 FPS full resolution
	Bit depth	10 bits	10 bits
	Pixel size	4.2 μm X 4.2 μm	4.2 μm X 4.2 μm
Confocal Illumination	Type	Single mode laser diode	Single mode laser diode
	Maximum laser power	500 mW	300 mW
	Wavelength	1155 nm	1178 nm
	Typical spectral width	5.0 nm	2.3 nm
Confocal Photodetector	Spectral response range	900 nm ~ 1700 nm	900 nm ~ 1700 nm
	Resolution	496 x 500	512 x 512
	Bit depth	8 bits	8 bits
	Virtual pixel size	7.5 μm standard	7.5 μm standard

	5X	10X	20X	50X	100X^*1
Numerical Aperture	0.1	0.3	0.45	0.65	0.85
Working Distance	23 mm	18 mm	8.3 mm	4.5 mm	1.2 mm
Field Number	22	22	22	22	22
Correction Collar	-	-	Yes	Yes	Yes
Glass Thickness Correction	-	-	0~1.2 mm	0~1.2 mm	0~0.7 mm

*1

100X objective is optional on LSCM.

図面

IRLC システム

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