Eitzenberger
エアベアリング
2001年にドイツで創業したEitzenberger社は、高精度な「エアベアリング（空気軸受）」技術をコアとして、モーションソリューションを開発・製造しています。
薄い空気膜で可動部を非接触支持する技術により、接触による摩擦や摩耗を抑え、滑らかな動きを実現します。精密位置決め用のステージから高速回転用のスピンドルまで、半導体製造装置や精密計測機器などの用途に応じた製品を提供しています。
※ Eitzenberger （読み： アイツェンベルガー）
エアベアリング（空気軸受）とは
エアベアリングは、軸やテーブルなどの可動部を薄い空気の膜で支持する軸受です。金属同士が接触する軸受とは異なり、軸受面と案内面の間に空気層を形成して荷重を支えます。接触による摩擦や摩耗を抑えられるため、精密な位置決め、滑らかな走査、高精度な回転運動を必要とする装置で用いられます。
静圧式エアベアリングの仕組み
静圧式では、外部から供給した圧縮空気を軸受面の微小な隙間に送り込み、その圧力で可動部を支えます。回転や移動によって圧力を発生させる動圧式とは異なり、所定の供給圧力・流量が確保され、荷重や隙間などの使用条件を満たしていれば、停止中や低速運動時にも空気膜を形成できます。
エアベアリングが担うのは、可動部を「支える・案内する」役割です。高精度な自動位置決めを行う場合は、通常、モーターなどの駆動機構、位置検出器、制御系を組み合わせます。パッド単体を選ぶ場合と、駆動機構を備えたステージを選ぶ場合では、装置側で用意する機器や設計範囲が異なります。
用途別エアベアリングの選び方
まず「どのように動かしたいか」と「何を、どの程度の精度で動かすか」を整理します。そのうえで、必要な動きに合う製品構成を選び、荷重・精度・速度・設置条件を確認すると、候補を絞り込みやすくなります。
代表的な応用例と、求められる動き
検査・計測：対象物を滑らかに走査する
試料やワークを移動させながら測定する装置では、直線走査にリニアステージ、平面内の走査に多軸ステージを検討します。移動範囲に加え、走査中の速度の安定性や真直度、停止して測定する場合の位置決め性能を確認します。
レーザー加工・半導体関連装置：加工位置を精密に合わせる
ワークの位置合わせや加工軌跡に沿った移動では、必要な軸数と移動範囲からステージ構成を検討します。治具を含む搭載荷重、位置決め精度、加減速条件、装置の処理時間を整理し、加工・測定条件に合うかを確認します。
回転検査・精密加工：回転の振れを抑える
試料を回して観察・測定する場合はロータリーテーブル、工具やワークを回転させて研削・穴あけなどを行う場合はエアスピンドルが候補です。角度位置決めが必要か、連続回転が必要かを明確にし、回転数や負荷、振れの仕様を比較します。ロータリーテーブルが加工用途に適する機種もあるため、用途名だけでなく必要な性能から選定します。