エアベアリングリニアステージ

エアベアリングとダイレクトドライブを融合した Eitzenberger のリニアステージは、
15 mm の極小ストロークから 2 m/250 kg 支持の超ロングタイプまで豊富にラインアップ。
摩擦レス設計がバックラッシュとスティックスリップを排除し、ナノメートル級位置決めと高加速度を実現します。
水平・垂直両対応で、半導体露光・レーザー加工・精密検査工程に最適です。