フォーカスステージ EZ-5504

EZ-5504フォーカス軸により、EIZENBERGERは全く新しい革新的な軸コンセプトを実現しました。
外形寸法は99x99x80 mm（LxWxH）とコンパクトで、光学部品用の中央連続開口部は約35 mmです。

スリップ・スティック・フリーのエア・ベアリングにより、18 mmの全ストローク範囲にわたって最高の精度を実現し、ナノメートル領域での繰返し精度を実現しています。極めて低い位置誤差に加えて、軸の傾き誤差の低さは特筆すべきポイントです。

フォーカス軸は永久磁石式重量補正を備え、250 gのペイロードに対応するように設計されており、50～300 gの質量に対して調整可能です。測定システムには、分解能 1 nm、BiSS-Cインターフェースを備えたレニショーの測定ヘッドを使用しています。