エアベアリングロータリーテーブル

Eitzenberger のエアベアリングロータリーテーブルは、ダイレクトドライブ採用で摩擦レス・バックラッシュゼロ。
0.2 µm以下のランアウトとナノメートル級分解能を備え、115 mm角の超薄型から大径高トルク機、パッシブ高精度タイプまで幅広く用意。
長寿命・メンテナンスフリー設計でクリーンルーム適合、半導体露光、検査、光学アライメントなど高精度回転制御に最適です。