エアベアリングロータリーテーブル
EZ-RP201
精密旋削、研磨、研削、ウェハ研削分野の駆動/軸受、同心度への要求が高い用途
EZ-RP201 回転テーブルシリーズは、アキシャル誤差 30 nm未満、ラジアル誤差 50 nm未満で、同心度に対する最も高い要求を満たしています。
特殊なH設計と最適化されたベアリングレイアウトにより、特に高いアキシャル荷重容量と剛性を実現しています。
ステンレス製ターンテーブルは、外部フランジ付きモータまたはベルトプーリで駆動します。
特長
Diameter Rotor 155 mm, 195 mm, 247.6 mm
- パッシブエアベアリング回転テーブル
- 低いエラーモーション
- 高速動作可能
- 高い耐荷重と剛性
- 様々なサイズで提供
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