高精度の位置決め、検査技術、校正システム、光学アライメント、再現性が要求される用途

EZ-0275は、長年の実績のある中型のダイレクトドライブ式ロータリーテーブルです。
トルクモーター(IDAM RMF 2相または3相)により、最大660rpmのダイナミックアプリケーションを実現できます。
この回転テーブルは、非常に精密な回転運動と高い繰返し精度が要求される用途に特に適しています。
目盛り数18,000本の測定システム(Numerik Jena RIK4)には、オプションで5、10、50、100の補間係数を設定できます。
補間係数を低く設定すると高速化が可能になり、高く設定すると繰返し精度が向上する。
ローターはマグネットでプリロードされ、エアー供給を切るとハウジングにクランプされ、その位置に固定されます。
取り付け位置に制限はありません。
使用する部材と潤滑剤の不使用で、エアベアリングは動作するため、回転テーブルはクリーンルームでの使用に適しています。
最大許容可搬質量は600Nです。

特長

  • ダイレクトドライブ式エアベアリング円テーブル
  • ラジアル振れ <0.15µm
  • 角度精度 <±0.5arcsec
  • 速度 標準品で660U/分
  • 補間付き(RS422で5、10、50、または100倍)または、補間なし(1Vpp)

技術資料


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