エアベアリング多軸ステージ

エアベアリングとダイレクトドライブを融合した Eitzenberger の多軸ステージは、XYZ-θ の自由度をナノメートル精度で制御。
高剛性ガントリーからコンパクトな XY ユニットまで取りそろえ、摩擦レス設計でスティックスリップやバックラッシュを排除します。
最大 1 m/s の高速動作と ±20 nm の繰り返し精度を両立し、 半導体製造・レーザー加工・精密計測に最適。用途に合わせたカスタム拡張にも対応します。