エアベアリング内蔵
高精密ガントリーステージ EZ-0715
位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工用途
エアベアリング内蔵ガントリーステージ EZ-0715は、高精度なアプリケーション向けに設計されています。増分測定システム（Heidenhain LIP6.G0）と最適化されたデザインにより、単軸で位置精度±.250.nm、繰り返し精度±.25.nmを実現。
真空プリロードされたスライドと最適化された質量分布により、最小の設置スペースで高い剛性が可能。コアレスモーターにより、最大10 m/s²の加速度と最大1 m/sの移動速度が可能。エンドポジションは誘導センサーによって検出。
スライドは対称に取り付けられたドラッグチェーンを介してエネルギー供給され、ガントリーステージの機械ベッドは花崗岩製。XYシステムはカスタマイズ可能で、Z軸および/またはC軸を含むように拡張可能です。
特長
- ストローク 350 mm x 450 mm
- 同一平面状に軸を持つ高精度システム
- バキューム プリロード エアベアリング スライド付きガントリー
- nm 範囲での位置決めタスクに最適
- 耐荷重 250 N
- 動的 Z/C軸で拡張可能
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