位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工用途

EZ-0730ステージは、インテリジェントなデザインで最大の剛性と優れた繰り返し性を実現し、軸同士のクロストークを最小限に抑えます。
内蔵機能には以下が含まれています。

  • 高い加速度でもクロストークを最小限に抑えるインパルス絶縁
  • 下部スライドにカーボンを使用して重量を最適化
  • 有害な温度効果を最小限に抑えるために熱膨張がほぼゼロのカーボン構造の使用
  • 11ゾーンの真空クランプデバイスを統合した極めて剛性のチャック
  • 新しいドラッグチェーンコンセプトによるエネルギーチェーンからの干渉力の最小化
  • 鉄なしドライブと高精度スケール(Heidenhain LIP6 G0)

機械ベッドは花崗岩製で、軸はお客様の要件に応じてカスタマイズ可能です。

製品紹介動画


特長

  • 真空チャック付 Y/Xステージ
  • 超高速
  • インパルス分離 Xステージ
  • 短い移動時間と整定時間
  • nm 範囲での再現性
  • カーボンコンポーネントによる軽量化

技術資料


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