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IG5 低コストイオンソース

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IG5 低コストイオンソースは、低いガス流量レートで作動する冷陰極イオン源で、イオンクリーニング、スパッタリングアプリケーションに理想的です。

フィラメントがないのでメンテナンスが容易です。

  • ローコスト
  • ビームエネルギ:1 ~ 5 keV
  • 即座に動作
  • フィラメントフリー
  • イオンクリーニング
  • スパッタリングアプリケーション
Model IG5
Beam Energy  1.0 ~ 5.0 keV 
Beam current  > 0.1 mA 
Filaments  None/filament free 
Power supply included  YES 
Integral valve  YES 
Mounting flange  NW35CF/70 mm/2.75” 
Bakeout (UHV compatible)  to 250 ℃
Standard length / diameter 56 mm/34 mm
Options
  • Manual Focus and X/Y deflection
  • Automated raster scanning

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