ミニｅ-ビームエバポレーター
EGシリーズ
UHV環境下での極薄膜作製に最適
EGシリーズ ミニeビームエバポレータは、超高純度膜の作製に利用されています。
蒸着レートは、高度な制御が可能で多くの材料に対して
0.1Å/min～50Å/minの範囲でコントロールができます。
このミニeビームエバポレータ EGシリーズは、１ポケットと４ポケットのタイプがあり、
４ポケットタイプには、それぞれ独立した制御が可能なEGN4と
最高４つの材料の同時蒸着が可能なEGCO4 があります。
コンタミネーションの低減、低粒子生成率、高信頼性を追及したものです。
特長
- 冷却効率でコンタミネーションフリーの設計
- 材料はロッドまたはルツボ充填の選択
- 標準搭載のフラックスモニタリングプレートにより精密な膜厚コントロールが可能
- １、４ポケットのタイプ ４ポケットタイプは各ポケットの独立制御で同時蒸着も可能なタイプ有り
仕様
| Model | EGN1 | EGN4 | EGCO4 |
|---|---|---|---|
| Pockets | 1 | 4 | 4 |
| Co-evaporation | No | No | Yes |
| Mounting flange | NW35CF (70 mm / 2.75”) |
NW35CF (70 mm / 2.75”) |
NW35CF (70 mm 1/ 2.75”) |
| e-beam power | 200 W | 200 W | 200 W |
| Water cooling | Yes | Yes | Yes |
| In-vacuum length (standard) | 200 mm | 200 mm | 200 mm |
| In-vacuum diameter | 32 mm | 34 mm | 34 mm |
用途
- 数nmの薄膜作製、半導体ドーピング
技術資料
データシート
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