サドルフィールドファーストアトムビーム
（FAB) ソース

サドルフィールドファーストアトムビーム（FAB）ソースは、
電荷を持たない中性の直線ビームを生成します。

不安定で低出力の従来の冷陰極の常識を変え、ビームを中性化することで
これまで電荷粒子が問題になっていた誘電体や半導体への照射や
エッチングプロセスにも適用が可能になりました。

FAB110 サドルフィールドファーストアトムソースは様々な材料のアトムビームエッチングと
スパッタリングに効果的です。

FABソースの応用は、ArやXeのような不活性ガスによる基板のクリーニング、
スパッタエッチング、アトムビームスパッタ蒸着です。