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PLV1000 ピエゾエレクトリックガスドーザ

PLV1000 ピエゾエレクトリックガスドーザは、UHVの装置に適合したオールメタルのリークバルブで、内蔵された圧電素子を用いて制御されます。

電圧の印加によって内部の圧電素子に歪みが生じ、この現象を利用して内部で強力なスプリングによりシートに押付けられているセラミックスプランジャを引き上げ、流量をコントロールします。

ノーマルクローズの設計になっており、小型の電源からパワーが供給されます。また、バルブの取付場所が手の届かない場所や危険な場所であっても遠隔操作が出来るようになっております。

特殊仕様でオゾンガス対応も出来ます。

PLV1000 ピエゾエレクトリックガスドーザ

グラフは旧モデル 3kV
上図のグラフは3kV旧モデルのものですが、現行の1kV
モデルでも同様の結果が得られています。

  • リモートコントロール
  • オールメタル
  • UHVに適合
  • 超微量コントロール
  • PCコントロール
  • 極微量ガス導入
  • MBEガス導入
  • ガスパルシング:ガスパルシング時のMinデュレーション 20msec
  • システム圧力コントロール
Model PLV1000
Mounting  NW16CF (inlet and outlet), VCR inlet on request 
Stack voltage  0 ~ 1000V 
Gas leak rate  5 x 10-10 to 5 x 10-2 torr.l.s-1
Minimum pulse duration  20 ms 
Operation temperature  Ambient 
Power-off state  Closed 
Options
  • PC interface for serial communication

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