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サドルフィールドファーストアトムビーム
(FAB) ソース

サドルフィールドファーストアトムビーム(FAB)ソース

サドルフィールドファーストアトムビーム(FAB)ソースは、電荷を持たない中性の直線ビームを生成します。

不安定で低出力の従来の冷陰極の常識を変え、ビームを中性化することでこれまで電荷粒子が問題になっていた誘電体や半導体への照射やエッチングプロセスにも適用が可能になりました。

FAB110 サドルフィールドファーストアトムソースは様々な材料のアトムビームエッチングとスパッタリングに効果的です。

FABソースの応用は、ArやXeのような不活性ガスによる基板のクリーニング、スパッタエッチング、アトムビームスパッタ蒸着です。

  • 電荷を持ったイオンによる衝撃と異なり、絶縁物や半導体試料にもチャージダメージ無し
  • ビームが電荷を持たないので電場や磁場中でも曲がらず直進します。
  • 成膜前の基板クリーニング
  • 常温接合前のサンプルのクリーニング、表面の活性化
  • 半導体基板等のエッチング
  • 微細加工
  • リアクティブアトムビームエッチング
最大出力電流 2 mA
ビームエネルギ 0.8 ~ 2.3 keV
最大入力パワー 100 W
最大プラズマ電流 40 mA
ガス流量  1セル、2セル 4、6 sccm
動作真空度 1x10-3 mbar
冷却水 2(L/min 20℃)

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