新製品

大面積対応・高ダイナミクス
3Dガルバノスキャナー
AXIALSCAN RD-14

大面積加工に対応する高ダイナミクススキャナ

AXIALSCAN RD-14は、大型ワークを効率的に加工するために開発された偏向ユニットです。
MINISCAN IIIの高い動特性に、ダイナミックプリフォーカスの特長を組み合わせています。

F-Thetaレンズ方式とは異なり、レーザーはスキャンミラー手前で集光されるため、偏向角を最大限に活用できます。これにより加工エリアを大幅に拡張でき、従来は複数フィールドが必要だった大型部品も、1台で加工可能です。生産性向上と工程の簡略化に貢献します。

高精度なZ軸ダイナミックフォーカシングを実現する
RAYVOLUTION DRIVE technology™
IP64相当の防塵ハウジング
交換が容易なマウンティングフレーム付き第2保護ガラス
複数の取り付け方法に対応したコンパクトなハウジング
XY2-100、またはSL2-100プロトコルによるデジタル制御
柔軟なプロセスフィールドサイズに対応

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特長
仕様
アプリケーション
技術資料

特長

大面積加工を可能にする光学コンセプト：
偏向角をフルに使用できるため、より大きな加工エリアを確保できます。大型部品でも、1台の偏向ユニットで加工可能
スティッチング不要による高効率化：
複数の加工フィールドをつなぎ合わせる必要がなく、段取り時間を大幅に削減
高ダイナミクス性能：
高速かつ高応答な動作により、大面積であっても高い生産性を実現
ダイナミックプリフォーカス：
追加の光学系を使用せず、非平面構造の加工が可能です。2.5Dのレイヤー加工から完全な3D加工まで対応します。

一般仕様

電源	電圧：+48 V 電流：4 A, RMS, 最大8 A リップル/ノイズ：最大200 mVpp, @20 MHz帯域幅
周囲温度	+15 to +35 °C
保存温度	-10 to +60 °C
湿度	≤ 80 % 結露なし
IPコード	64
インターフェース信号：デジタル	XY2-100-拡張プロトコル 16ビット SL2-100 プロトコル 20ビット

典型的な偏向（光学的）	± 0.393 rad
分解能 XY2-100 16 ビット	12 µrad
分解能 SL2-100 20 ビット	0.76 µrad
繰り返し精度（RMS）	< 2.0 µrad
位置ノイズ（RMS）	< 4.5 µrad
温度ドリフト	最大 Gaindrift 15 ppm/K 最大 Offsetdrift 10 µrad/K ^※1
長期ドリフト 8 時間 ^※1	< 60 µrad

※1

光学的な角度。軸あたりのドリフト、30 分のウォームアップ後、一定の周囲温度および処理応力で。

主要仕様 – AXIALSCAN RD-14 SI

制限入力径	5.0 mm
ビーム変位置	17.0 mm
最適な入力ビーム径	full beam 4.7 mm, 1/e² 3.1 mm

重量	5.5 kg
寸法（電気コネクター除く）	330.0 x 105.0 x 134.0 mm（L x W x H）

チューニング別動的仕様 – AXIALSCAN RD-14 SI

マーキングチューニング（MA）	マーキング用途のための最適化されたチューニング
ベクトルチューニング（VC）	処理速度を重視した幅広いアプリケーションへの最適チューニング

チューニング	MA	VC
処理速度 [rad/s] ^※1	30	50
位置決め速度 [rad/s] ^※1	90	50
トラッキングエラー [ms]	0.16	0.20
加速時間 [ms]	0.30	0.46
フルスケールの1%でのステップ応答時間 [ms]	約0.36 ^※2	約0.68 ^※3
トラッキングエラーフォーカスユニット [ms]	0.9	0.9
移動レンズの速度 [mm/s]	900	900

※1

❝速度の計算❞を参照してください。
※2

フルスケールの1/1,000に設定
※3

フルスケールの1/5,000に設定

速度の計算

プロセスフィールド 100 × 100 mm² において、偏向角 ±0.393 rad（45°）の場合、角速度 1 rad/s はフィールド内速度 0.12 m/s に相当します。

例：プロセスフィールド 400 × 400 mm²（フィールド係数 4）の AXIALSCAN RD-14 において、
Marking Tuning（MA）で角速度 30 rad/s を設定した場合、フィールド内の加工速度は次のとおりです。

30 rad/s × 0.12 m/s × 4 = 24 m/s

注意：使用する制御カード、加工タスク、プロセスフィールドサイズ、および光学構成によっては、
Z軸動作により加工速度が低下する場合があります。

フィールドサイズ設定例 – AXIALSCAN RD-14

フィールドサイズ [mm x mm]	200 x 200	300 x 300	400 x 400	500 x 500	600 x 600
作動距離 [mm]	200	324	448	571	695
Spot diameter λ = 355 nm, 1/e² ca. [µm]	14.5	21.5	29.0	36.0	43.5
Spot diameter λ = 1064 nm, 1/e² ca. [µm]	42.5	64.5	86.0	108.0	129.5
Working volume [mm]	36	143	355	747	1000

スポットデータは、ビーム径 FBD = 4.7 mm の場合に有効です。

作動距離および作動ボリュームは、外部保護カバーガラスを1枚使用した場合の値です。
2枚目の外部クイックチェンジ保護カバーガラスを使用した場合、これらの値はわずかに変化することがあります。
詳細はお問合せください。

光学系仕様

波長とコーティング	ミラー基板	最大許容レーザー出力［W］^※
355 nm	SI	100
1,064 nm	SI	300

※

シングルモードおよびマルチモードの連続発振（CW）レーザーに対応しています。

アプリケーション

AM（アディティブマニュファクチャリング）
プリント基板（PCB）の切断およびマーキング

大面積と高い動特性が同時に求められる用途に最適なソリューションです。

技術資料

AXIALSCAN RD-14　英語版

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大面積対応・高ダイナミクス 3Dガルバノスキャナー AXIALSCAN RD-14

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