デジタル２Dガルバノスキャナー
MINISCAN III

安定したデジタル制御による高信頼スキャン

新しいMINISCAN IIIは、非常に安定したデジタル制御を採用し、ノイズおよびドリフト特性をさらに改善しています。
これにより、システム全体の信頼性と堅牢性が一段と向上しています。
デジタルインターフェースにより、XY2-100（16bit）およびSL2-100（20bit）の両プロトコルに対応し、使用するプロトコルは専用ケーブルによって定義されます。

高安定デジタル制御
ノイズとドリフトを低減することで、安定した加工品質と高い信頼性を実現
プロトコル選択の柔軟性
XY2-100およびSL2-100の両プロトコルに対応し、システム構成に合わせた選択が可能
幅広い光学構成に対応
レンズ、保護ガラス、ミラー基材およびコーティングは、一般的なレーザータイプ、波長、パワー密度、焦点距離、加工エリアに対応
高品質・高スループット
多様な構成により、幅広いタスクを高品質かつ効率的に処理
入射開口径：10mm / 14mm / 20 mm

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仕様
アプリケーション
技術資料

一般仕様

電源	電圧：+30 V または +48 V 電流：2 A, RMS, 最大 5 A リップル/ノイズ：最大 200 mVpp,@ 20 MHz 帯域幅
周囲温度	+15 to +35 °C
保存温度	-10 to +60 °C
湿度	≤ 80 % 結露なし
IPコード	IP 64
インターフェース信号：デジタル	XY2-100-拡張プロトコルl SL2-100 プロトコル
典型的な偏向（光学的）	± 0.393 rad
分解能 XY2-100 16 ビット	12 µrad
分解能 SL2-100 20 ビット	0.76 µrad
繰り返し精度（RMS）	< 2.0 µrad
位置ノイズ（RMS）	< 4.5 µrad
温度ドリフト	最大 Gaindrift ^※1：15 ppm/K 最大 Offsetdrift ^※1：10 µrad/K
長期ドリフト 8 時間 ^※1	< 80 µrad

※1

光学的な角度。軸あたりのドリフト、30 分のウォームアップ後、一定の周囲温度および処理応力で。

口径別主要仕様

ガルバノユニット	MINISCAN III -10 SI	MINISCAN III -10 QU	MINISCAN III -14 SI	MINISCAN III -14 QU	MINISCAN III -20 SI	MINISCAN III -20 QU
入力径 (mm)	10	10	14	14	20	20
ビーム変位置 (mm)	12.4	12.4	17.0	17.0	26.0	26.0
質量 [F-theta レンズなし] (kg)	約 0.9	約 0.9	2.0	2.0	2.5	2.5
寸法 [LxWxH] (mm)	100 x 77 x 83	100 x 77 x 81.5	134 x 98 x 100.3	134 x 98 x 100.3	145 x 116 x 103.5	145 x 116 x 103.5

※

製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。

アプリケーション

表面の高速アブレーション加工
高速クリーニング
高難度マーキング

デジタル制御と高出力PWM出力ステージにより、高速性と優れた動特性を確保します。
さらに、CAMERA ADAPTERおよびMACHINE VISION CONTROLコンポーネントと組み合わせることで、プロセスモニタリングにも対応可能です。

技術資料

データシート

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デジタル２Dガルバノスキャナー MINISCAN III

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