3Dガルバノスキャナー
AXIALSCAN-20 / -30

最少スポット径で、フレキシブルな広域プロセス
AXIALSCAN-20/30 は、大フィールドサイズにおいて、優れた高品質を保ちつつ、非常に小さいスポット径、フレキシブル性、高速スキャン速度、長期安定性、低ドリフト値を実現します。これら組み合わせにより高パワー密度のスポットを達成し、新たなアプリケーションが可能となりました。また、同時にシステムコストにも成功しています。本サブモジュールは、フィールドサイズ 100mm×100mmから1,800mm×1,800mm までに対応するよう設計されています。

AXIALSCAN-20 [Y]

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特長

3D アプリケーション用
最大 4kW までのレーザーパワーに対応
ダブルモーターオプションで、高速 Z 軸を実現
各種可変フィールドサイズ (mm x mm)：100×100 から1,800×1,800

アプリケーション

カッティング、穿孔、ウェルディング、ドリル、オンザフライ・マイクロ機械加工、3Dアプリケーション、添加物製造のような材料プロセス

オプション

AXIALSCAN MOTORIZED（電動式）：ステッパーモーターインターフェースにより、フィールドの舵取りをモーターでの調節が可能になるオプション。
AXIALSCAN-HP - 最大 4kW までのNd: YAG と CO2 に対応したオプティクスを持つハイパワータイプ
AXIALSCAN-HS - ダブルモーター駆動 Z 軸と超軽量・硬化構成のミラーを使用した高速タイプ

インターフェース

本サブモジュールは、XY2-100 スタンダードと互換性があります。SP-ICE-1　PCI PRO またはアナログ電流・電圧インターフェースなどを介して、デジタル制御をすることができます。

仕様

一般仕様

電源	電圧：±15 to ±18 V 電流：7.5 A, RMS, 最大 10 A リップル / ノイズ：最大 200 mVpp, @ 20 MHz 帯域幅
インターフェース信号	Digital \| XY2-100 プロトコル
周囲温度	+15 ～ +35 °C
保存温度	-10 ～ +60 °C
湿度	≤ 80 % 結露なし
重量	約 12.0 kg ～ 16.5 kg
最大入力口径	15 mm / 20 mm (高出力)

CO₂ (10.6 μm) 　AXIALSCAN-20 - C および AXIALSCAN-30 - C/BO の構成例

フィールドサイズ (mm x mm)	100 x 100	250 x 250	500 x 500	750 x 750	1,000 x 1,000	1,250 x 1,250	1,500 x 1,500
Spot diameter 1/e² (µm)^※1
AXIALSCAN-20-C BO100 / BO250	172 / -	312 / 337	737 / 600	- / 900	- / 1,200	- / 1,500	- / 1,800
AXIALSCAN-30-C/BO BO100/BO250	108 / -	214 / 237	452 / 471	- / 706	- / 941	- / 1,176	- / 1,411
作動距離 (mm) ^※2
AXIALSCAN-20-C	79	301	573	883	1,192	1,502	1,811
AXIALSCAN-30-C/BO	74	259	569	878	1,188	1,497	1,806
分解能 (µm)	< 4	< 8	< 16	< 24	< 32	< 40	< 48

Nd:YAG (1064 nm) 　AXIALSCAN-20-Y および AXIALSCAN-30-Y の構成例

フィールドサイズ (mm x mm)	200 x 200	400 x 400	600 x 600	800 x 800	1,000 x 1,000	1,200 x 1,200
Spot diameter 1/e² (µm) ^※1
AXIALSCAN-20-Y	34	66	99	126	160	194
AXIALSCAN-30-Y	-	40	60	79	98	117
作動距離 (mm) ^※2
AXIALSCAN-20-Y	202	450	697	945	1,192	1,440
AXIALSCAN-30-Y	-	445	693	940	1,188	1,435
分解能 (µm)	< 7	< 13	< 19	< 25	< 31	< 37

Nd:YAG 2倍波(532 nm)　　 AXIALSCAN-20 - DY WITH LTM-15 DY [200] V2 の構成例

フィールドサイズ (mm x mm)	200 x 200	500 x 500	800 x 800	1,000 x 1,000	1,200 x 1,200
Spot diameter 1/e² (µm) ^※1	18	40	64	80	96
作動距離 (mm) ^※2	229	573	945	1,192	1,440
分解能 (µm)	< 7	< 17	< 26	< 35	< 42

Nd:YAG 3倍波(355 nm) 　　AXIALSCAN-20 -TY(LTM-15 TY [200] V2 D2)の構成例

フィールドサイズ (mm x mm)	200 x 200	500 x 500	700 x 700	1,000 x 1,000	1,200 x 1,200
Spot diameter 1/e² (µm) ^※1	12	27	37	53	63
作動距離 (mm) ^※2	202	573	821	1,193	1,440
分解能 (µm)	< 7	< 17	< 24	< 35	< 42

※1

入力ビーム品質:M² =1.0
※2

ガルバノユニットまたは出力プレート(SS-IIE & SS-III)の下端から加工面まで。注:実際のスポットサイズおよび書き込み速度は、材料およびアプリケーションに依存し、したがって、アプリケーションに応じて著しく変化します。フラットフィールド(2D)で加工する場合は、3Dライセンスなして利用できます。
3Dアプリケーション(Z方向)の場合は3Dライセンスが必要になります。

2軸スキャナー部分のユニットの仕様例

ガルバノユニット	SUPERSCAN IIE-20L	TURBOSCAN IIl-30
機械データ
入力口径 (mm)	20	30
ビーム変位量 (mm)	25.63 ^※3 / 26.28	35.4 ^※3 / 36.0
質量（対物レンズなし） (kg)	約 3.3	約 5.9
動的データ
典型的なガルバノ（光学的） (rad)	± 0.393	± 0.393
再現性（RMS） (µrad)	2	2
最大 Gaindrift (ppm/K) ^※1	15	15
長期ドリフト 8 時間 (µrad/K) ^※1	10	10
Long-term drift (µrad) ^{※1, ※2}	< 100	< 60
加速時間（10-90%） (ms) ^※3	≤ 0.58	≤ 0.85

※1

軸あたりのドリフト、30 分のウォームアップ後、一定の周囲温度およびプロセス応力で
※2

30分の暖機後(ミラーを動作)、水温制御を2l/分以上に設定し、水温を22˚Cにした場合
※3

Siミラーの仕様

レーザー	Nd:YAG	Nd:YAG doubled	Nd:YAG tripled	CO₂
波長 (nm)	1,064	532	355	10,600
コーティング	AR コーティング	AR コーティング	AR コーティング	AR コーティング
最大レーザー出力 CW (W) ：AS-20	500 ^※1	300 ^※1	100 ^※1	500 ^※2
最大レーザー出力 CW (W) ：AS-30	4,000 ^※1	-	-	2,500 ^※2

※1

QU
※2

SC

※

製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。

技術資料

データシート

動画一覧

3D レーザーマーキングの加工例

AXIALSCAN-30アライメント手順

Step

①

Required tools（0:38）
②

Alignment and collimation of laser beam（1:09）
③

Pre-setting the field size（2:40）
④

Mechanical adjustment（4:09）
⑤

Focal adjustment with Linear Translator（5:03）
⑥

Fine focal adjustment in Software weldMARK（5:53）
⑦

Control focus results（7:08）

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3Dガルバノスキャナー AXIALSCAN-20 / -30

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