デモ機あり

デジタル２Dガルバノスキャナー
SUPERSCAN IV

高速・高ダイナミクス対応ガルバノスキャナ

SS-IVは、デジタル制御により、非常に高い応答性と速度を実現したガルバノスキャナです。
マーキングはもちろん、超高速かつ高精度な構造形成、切断、穴あけ加工で性能を発揮します。
堅牢な水冷マスターブロック設計により、ビーム方向の頻繁な切り替えや高ジャンプ周波数でも、低ドリフトで安定した動作を維持します。

SL2-100プロトコル（20bit）
または、XY2-100プロトコル（16bit）による制御に対応
電力損失を大幅に低減し、
発熱を最小限に抑えたデジタルドライバボード（PWM）
最大の生産性を実現する高い動特性と高速動作
多様な用途に対応する複数のチューニング、およびミラーコーティング
入射開口径：10mm / 15mm / 20mm / 30mm

また SS-IV-30 では堅牢で水冷式のマスタブロック設計により、石英スキャンミラーを使用した場合、最大 6kW のレーザーパワーのアプリケーションで利用が可能です。

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特長
仕様
アプリケーション
技術資料

特長

高ダイナミクス・高速応答：
デジタル制御により、極めて高い応答性とスピードを実現します。高速加工でも精度を損ないません。
安定した水冷構造：
水冷式マスターブロック設計により、熱影響を抑制し、長時間運転でも安定した低ドリフト動作を保証します。
完全に構成可能な光学系：
レンズ、保護ガラス、ミラーコーティングは、標準的なレーザータイプ、波長、パワー密度、焦点距離、加工エリアに対応可能です。
高品質と高スループット：
幅広い構成選択肢により、用途に応じた最適化が可能で、高い加工品質と処理能力を両立します。

一般仕様

電源	電圧：+30 V または +48 V 電流：2 A RMS、最大 5 A リップル/ノイズ：最大 200 mVpp,@ 20 MHz 帯域幅
周囲温度	+15℃ ～ +35 ℃
保存温度	-10℃ ～ +60 ℃
湿度	≤ 80 % 結露なし
IP コード	64
インターフェース信号：デジタル	XY2-100-拡張プロトコル SL2-100 プロトコル
典型的な振り角	± 0.393 rad
分解能 XY2-100-E 16 ビット	12 µrad
分解能 SL2-100 20 ビット	0.76 µrad
繰り返し精度（RMS）	< 2.0 µrad
ポジションノイズ（RMS）	SS IV-10, 15：< 4.5 µrad SS IV-20, 30：< 3.2 µrad
温度ドリフト	最大 Gaindrift ^※1：15 ppm/K 最大 Offsetdrift ^※1：10 µrad/K
長期ドリフト 8 時間（水温制御なし） ^※1	< 60 µrad
長期ドリフト 8 時間（水温制御）^{※1, ※2}	< 40 µrad

※1

光学的な角度。軸あたりのドリフト、30 分のウォームアップ後、一定の周囲温度およびプロセス応力で。
※2

30 分の暖機後、工程負荷を変化させ、水温制御を 2l / 分以上に設定し、水温を 22 ℃にした場合。

口径別主要仕様

ガルバノユニット	SUPERSCAN IV-10	SUPERSCAN IV-15	SUPERSCAN IV-20-QU	SUPERSCAN IV-30
入力口径 [mm]	10	15	20	30
ビーム変位 [mm]	12.5 (SI)	18.1 (QU, SI), 18.0 (SC)	26.00	36.0 (SI, SC), 35.4(QU)
重量（レンズなし） [kg]	約 3.2	約 3.2	約 5.5	約 5.5
寸法（L x W x H）[mm]	170.0 x 125.0 x 117.5	170.0 x 125.0 x 117.5	203.0 x 159.0 x 150.0 / 160.5 ^※1	203.0 x 159.0 x 150.0

※1

AXIALSCAN model, output plate for protection window

ミラー基板素材：　QU = 石英　 SC = 炭化ケイ素　SI =シリコン

※

製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。

アプリケーション

高精度が要求されるコードマーキング
FPC構造の切断加工
銅箔の穴あけ加工

デジタル制御と高出力PWM出力ステージにより、高速性と優れた動特性を実現します。
さらに、カメラアダプタおよびMVCコンポーネントと組み合わせることで、プロセスモニタリング対応の高精度ツールとして使用可能です。

技術資料

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デジタル２Dガルバノスキャナー SUPERSCAN IV

特長

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