デモ機あり

デジタル２Dガルバノスキャナー
SUPERSCAN IV

デジタル２軸ガルバノユニット、シビアな産業アプリケーションのために

SUPERSCAN IV シリーズはデジタル制御は、非常にダイナミックな応答とSS-IV-15 は 200rad/s までの速度を提供します。

また SS-IV-30 では堅牢で水冷式のマスタブロック設計により、石英スキャンミラーを使用した場合、最大 6kW のレーザーパワーのアプリケーションで利用が可能です。

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特長
容易な設定性
仕様
アプリケーション
技術資料

特長

SL2-100 プロトコルによる20bit分解能（XY2-100 プロトコルもサポート）
電力損失を大幅に低減し、熱発生を最小限に抑えたデジタル・ドライバ・ボード（PWM）制御
ダイナミック応答と高速性により最大限の生産性を実現
多様な用途に対応する複数のチューニングとミラーコーティングが選択可能

容易な設定性

すべての標準的なレーザーの種類、波長、パワー密度、焦点距離、および加工フィールド、F-theta、ミラー基板など構成利用可能です。
これは、最良の品質および最適化されたスループットで広範囲のタスクを処理することを可能にします。
また、あなたのアプリケーションのための完全な構成をまとめることが可能です。

仕様

一般仕様

電源	電圧：+30 V または +48 V 電流：2 A RMS、最大 5 A リップル/ノイズ：最大 200 mVpp,@ 20 MHz 帯域幅
周囲温度	+15℃ ～ +35 ℃
保存温度	-10℃ ～ +60 ℃
湿度	≤ 80 % 結露なし
IP コード	64
インターフェース信号：デジタル	XY2-100-拡張プロトコル SL2-100 プロトコル
典型的な振り角	± 0.393 rad
分解能 XY2-100-E 16 ビット	12 µrad
分解能 SL2-100 20 ビット	0.76 µrad
繰り返し精度（RMS）	< 2.0 µrad
ポジションノイズ（RMS）	SS IV-10, 15：< 4.5 µrad SS IV-20, 30：< 3.2 µrad
温度ドリフト	最大 Gaindrift ^※1：15 ppm/K 最大 Offsetdrift ^※1：10 µrad/K
長期ドリフト 8 時間（水温制御なし） ^※1	< 60 µrad
長期ドリフト 8 時間（水温制御）^{※1, ※2}	< 40 µrad

※1

光学的な角度。軸あたりのドリフト、30 分のウォームアップ後、一定の周囲温度およびプロセス応力で。
※2

30 分の暖機後、工程負荷を変化させ、水温制御を 2l / 分以上に設定し、水温を 22 ℃にした場合。

APERTURE 依存仕様 - 機械的データ

ガルバノユニット	SUPERSCAN IV-10	SUPERSCAN IV-15	SUPERSCAN IV-20-QU	SUPERSCAN IV-30
入力口径 [mm]	10	15	20	30
ビーム変位 [mm]	12.5 (SI)	18.1 (QU, SI), 18.0 (SC)	26.00	36.0 (SI, SC), 35.4(QU)
重量（レンズなし） [kg]	約 3.2	約 3.2	約 5.5	約 5.5
寸法（L x W x H）[mm]	170.0 x 125.0 x 117.5	170.0 x 125.0 x 117.5	203.0 x 159.0 x 150.0 / 160.5 ^※1	203.0 x 159.0 x 150.0

※1

AXIALSCAN model, output plate for protection window

ミラー基板素材：　QU = 石英　 SC = 炭化ケイ素　SI =シリコン

※

製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。

アプリケーション

SUPERSCAN IV-15 は、特に太陽電池産業におけるウェハの構造化やウォブル溶接、電子部品のマーキングなどに適しています。
デジタル制御と強力な PWM 出力ステージにより、スピードとダイナミックな応答が保証されています。
カメラアダプターと MVC（マシンビジョン）コンポを組み合わせることで、プロセス監視機能を備える複雑なアプリケーションに対応できます。

技術資料

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特長