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ジンバルレス 高速2軸MEMSミラー

光ビーム制御の革新、Mirrorcleの2軸MEMSミラー

Mirrorcle Technologiesのスキャン2軸MEMSミラー（マイクロミラー）は、光ビームステアリング技術の最前線を担うソリューションです。この技術は多様な産業で活用され、小型、高速、低消費電力を実現した独自の設計が大きな強みです。

「ジンバルレス2軸スキャンマイクロミラーデバイス」は、超低消費電力環境で動作し、2軸方向で最大32°のスキャン角度を高速に実現します。これにより、既存の大型ガルバノメーター光スキャナーに比べ、数桁も少ない駆動電力で高い性能を発揮します。消費電力はわずか数ミリワット。長時間の使用やポータブル用途にも理想的です。

Mirrorcleのミラーは、単結晶シリコンから製造され、高い再現性と信頼性を誇ります。光学的に平滑なミラー表面は、特定の反射率を持つ薄膜でコーティングされ、さまざまな用途に対応。直径0.8 mmから7.5 mmまでのサイズが利用可能で、特殊用途向けには9.0 mmサイズの実績もあります。

この技術の適用範囲は広がり続けています。プロジェクションディスプレイ、3Dスキャニング、LiDARイメージングなどの最先端分野から、レーザーマーキングやバイオメディカルイメージングまで。特定の仕様に合わせてカスタマイズ可能な設計により、さまざまな要求に応えます。

光学技術の可能性を最大限に引き出すMirrorcleのMEMSマイクロミラー。次世代の研究や開発に、最適なソリューションを是非ご検討ください。

※ミラー単体の販売は、開発キットご購入済のお客様に限らせていただきます。

ジンバルレス 高速2軸MEMSミラー
（左）組込型ミラーデバイス　（右）貼付型ミラーデバイス
  • ジンバルレス 高速2軸MEMSミラー
  • ジンバルレス 高速2軸MEMSミラー

特長

  • ジンバルレスで、高速2軸スキャンを実現
  • 動作モード ： ポイント-ポイント（任意のポイントで静止可！）
  • 各種ミラーサイズ対応
  • mWレベルの低消費電力（省電力）
  • 小型、軽量

用途

  • 3D形状計測
  • プロジェクター
  • ベクトルスキャン
  • ラスタースキャン
  • 3Dトラッキング
  • 顕微鏡
  • 内視鏡
  • OCT
  • レーザーマーキング

基本仕様

曲面ミラー R > 5 m
ミラーコーティング アルミ or 金
ポジション再現性 < 0.001°（室温）
動作温度 -40 ～ 125 ℃（正確な製品仕様はパッケージによって異なります）
許容レーザーパワー < 1 W （ミラーサイズ、コーティング、波長により異なります）
レゾナント周波数 >3 kHz @小口径ミラー、 >1.2 kHz @2.0 mmミラー
光学ウィンドウ ARコーティングされた合成石英ウィンドウ（取り外し可能）
— Type A※： Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 400nm – 675nm double-sided AR coating, AOI 22.5°
— Type B※： Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 675nm – 1040nm double-sided AR coating, AOI 22.5°
— Type C※： Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 1040nm – 1600nm double-sided AR coating, AOI 22.5°
  • ※
    Customer Specific wavelengths and AOI available for quantities above 100 units.

一体型ミラー 一覧

お問合せの際は、 ①アクチュエーター名 ・ ②ミラー径 をお知らせください。
ミラー径をクリックするとサンプルデータシート（PDF）が表示されます。

アクチュエーター名 Mechanical Angle Die Size ミラー径
A3I8.2-800AL ±6° 4.25 x 4.25 mm
A7M8.1-800AL ±4.75° 5.20 x 5.20 mm
A7M10.2-1000AL ±4.75° 5.20 x 5.20 mm
A3I12.2-1200AL ±5° 4.25 x 4.25 mm
F1M16.2-1600AL ±4.5° 5.20 x 5.20 mm
A7M20.2-2000AL ±5° 5.20 x 5.20 mm
A5M24.3-2400AL ±5.5° 7.25 x 7.25 mm
  • ※
    表の数値は典型値です。 実際の値は、製造後に添付されるデータシートに記載されます。
  • ※
    各サンプルデータシートに記載の “SXXXX” という番号は、製造シリアル番号です。

貼付型ミラー 一覧

ミラクルMEMSミラー（貼付型）の製品一覧表です。 ✓ 記号をクリックするとサンプルデータシート（PDF）が表示されます。
お問合せの際は、 ①アクチュエーター名 ・ ②ミラー径 をお知らせください。

アクチュエーター名 Mechanical Angle Die Size ミラー径 2.0 mm ミラー径 2.4 mm ミラー径 3.0 mm ミラー径 3.6 mm ミラー径 4.2 mm ミラー径 4.6 mm ミラー径 5.0 mm ミラー径 6.4 mm ミラー径 7.5 mm
A7B1.3 ±7° 5.20 x 5.20 mm NR NR NR NR NR
A7B2.3 ±6° 5.20 x 5.20 mm NR NR NR NR NR NR
A8L2.2 ±5° 7.25 x 7.25 mm NR NR NR NR
A5L3.3(C2) ±4.25° 7.25 x 7.25 mm NR NR
A5L3.3 ±2.5° 7.25 x 7.25 mm NR
A5L2.2 ±1.15° 7.25 x 7.25 mm
  • ※
    NR = Not Recommended
  • ※
    表の数値は典型値です。 実際の値は、製造後に添付されるデータシートに記載されます。
  • ※
    各サンプルデータシートに記載の “SXXXX” という番号は、製造シリアル番号です。

パッケージオプション

4.2mm x 4.2mm アクチュエーター
5.2mm x 5.2mm アクチュエーター
7mm x 7mm アクチュエーター
8mm x 8mm アクチュエーター
  • ※
    LCCパーケージは、tinyPCB上にマウントして提供します。

技術資料

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