ジンバルレス 2軸高速スキャンMEMSミラーです。 静電駆動方式により、~mWクラスの省電力を実現しました。 一体型 / 貼付型 ミラーデバイスがあります。

  • ミラー単体での販売は行っておりません。
  • 例外として 開発キット ご購入の場合のみ、購入後1年まで、ミラー単体での発注をお請けします。

特長

  • ジンバルレスで、高速2軸スキャンを実現
  • 動作モード : ポイント-ポイント(任意のポイントで静止可!)
  • 各種ミラーサイズ対応
  • mWレベルの低消費電力(省電力)
  • 小型、軽量

用途

  • 3D形状計測
  • プロジェクター
  • ベクトルスキャン
  • ラスタースキャン
  • 3Dトラッキング
  • 顕微鏡
  • 内視鏡
  • OCT
  • レーザーマーキング

基本仕様

曲面ミラー R > 5 m
ミラーコーティング アルミ or 金
ポジション再現性 < 0.001°(室温)
動作温度 -40 ~ 125 ℃(正確な製品仕様はパッケージによって異なります)
許容レーザーパワー < 1 W (ミラーサイズ、コーティング、波長により異なります)
レゾナント周波数 >3 kHz @小口径ミラー、 >1.2 kHz @2.0 mmミラー
光学ウィンドウ ARコーティングされた合成石英ウィンドウ(取り外し可能)
— Type A Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 400nm – 675nm double-sided AR coating, AOI 22.5°
— Type B Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 675nm – 1040nm double-sided AR coating, AOI 22.5°
— Type C Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 1040nm – 1600nm double-sided AR coating, AOI 22.5°
  • Customer Specific wavelengths and AOI available for quantities above 100 units.

一体型ミラー 一覧

ミラクルMEMSミラー(一体型)の製品一覧表です。 ミラー径をクリックするとサンプルデータシート(PDF)が表示されます。
お問合せの際は、 ①アクチュエーター名 ・ ②ミラー径 をお知らせください。

アクチュエーター名 Mechanical Angle Die Size ミラー径
A3I8.2-800AL ±6° 4.25 x 4.25 mm
A7M8.1-800AL ±4.75° 5.20 x 5.20 mm
A7M10.2-1000AL ±4.75° 5.20 x 5.20 mm
A3I12.2-1200AL ±5° 4.25 x 4.25 mm
F1M16.2-1600AL ±4.5° 5.20 x 5.20 mm
A7M20.2-2000AL ±5° 5.20 x 5.20 mm
A5M24.3-2400AL ±5.5° 7.25 x 7.25 mm
  • 表の数値は典型値です。 実際の値は、製造後に添付されるデータシートに記載されます。
  • 各サンプルデータシートに記載の “SXXXX” という番号は、製造シリアル番号です。

貼付型ミラー 一覧

ミラクルMEMSミラー(貼付型)の製品一覧表です。 ✓ 記号をクリックするとサンプルデータシート(PDF)が表示されます。
お問合せの際は、 ①アクチュエーター名 ・ ②ミラー径 をお知らせください。

アクチュエーター名 Mechanical Angle Die Size ミラー径 2.0 mm ミラー径 2.4 mm ミラー径 3.0 mm ミラー径 3.6 mm ミラー径 4.2 mm ミラー径 4.6 mm ミラー径 5.0 mm ミラー径 6.4 mm ミラー径 7.5 mm
A7B1.3 ±7° 5.20 x 5.20 mm NR NR NR NR NR
A7B2.3 ±6° 5.20 x 5.20 mm NR NR NR NR NR NR
A8L2.2 ±5° 7.25 x 7.25 mm NR NR NR NR
A5L3.3(C2) ±4.25° 7.25 x 7.25 mm NR NR
A5L3.3 ±2.5° 7.25 x 7.25 mm NR
A5L2.2 ±1.15° 7.25 x 7.25 mm
  • NR = Not Recommended
  • 表の数値は典型値です。 実際の値は、製造後に添付されるデータシートに記載されます。
  • 各サンプルデータシートに記載の “SXXXX” という番号は、製造シリアル番号です。

パッケージオプション

4.2mm x 4.2mm アクチュエーター
5.2mm x 5.2mm アクチュエーター
7mm x 7mm アクチュエーター
8mm x 8mm アクチュエーター
  • LCCパーケージは、tinyPCB上にマウントして提供します。

技術資料


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