ミラクルMEMSミラー
ジンバルレス 2軸高速スキャンMEMSミラーです。 静電駆動方式により、～mWクラスの省電力を実現しました。 一体型 / 貼付型 ミラーデバイスがあります。
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※ミラー単体での販売は行っておりません。
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※例外として 開発キット ご購入の場合のみ、購入後1年まで、ミラー単体での発注をお請けします。
（左）組込型ミラーデバイス （右）貼付型ミラーデバイス
特長
- ジンバルレスで、高速2軸スキャンを実現
- 動作モード ： ポイント-ポイント（任意のポイントで静止可！）
- 各種ミラーサイズ対応
- mWレベルの低消費電力（省電力）
- 小型、軽量
用途
- 3D形状計測
- プロジェクター
- ベクトルスキャン
- ラスタースキャン
- 3Dトラッキング
- 顕微鏡
- 内視鏡
- OCT
- レーザーマーキング
基本仕様
| 曲面ミラー | R > 5 m |
|---|---|
| ミラーコーティング | アルミ or 金 |
| ポジション再現性 | < 0.001°（室温） |
| 動作温度 | -40 ～ 125 ℃（正確な製品仕様はパッケージによって異なります） |
| 許容レーザーパワー | < 1 W （ミラーサイズ、コーティング、波長により異なります） |
| レゾナント周波数 | >3 kHz @小口径ミラー、 >1.2 kHz @2.0 mmミラー |
| 光学ウィンドウ | ARコーティングされた合成石英ウィンドウ（取り外し可能） |
|---|---|
| — Type A※： | Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 400nm – 675nm double-sided AR coating, AOI 22.5° |
| — Type B※： | Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 675nm – 1040nm double-sided AR coating, AOI 22.5° |
| — Type C※： | Fused Silica (20/10), 0.5mm thick, 1040nm – 1600nm double-sided AR coating, AOI 22.5° |
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※Customer Specific wavelengths and AOI available for quantities above 100 units.
一体型ミラー 一覧
ミラクルMEMSミラー（一体型）の製品一覧表です。 ミラー径をクリックするとサンプルデータシート（PDF）が表示されます。
お問合せの際は、 ①アクチュエーター名 ・ ②ミラー径 をお知らせください。
| アクチュエーター名 | Mechanical Angle | Die Size | ミラー径 |
|---|---|---|---|
| A3I8.2-800AL | ±6° | 4.25 x 4.25 mm | |
| A7M8.1-800AL | ±5° | 5.20 x 5 .20 mm | |
| A7M10.2-1000AL | ±5.1° | 5.20 x 5 .20 mm | |
| A3I12.2-1200AL | ±5° | 4.25 x 4 .25 mm | |
| F1M16.2-1600AL | ±4.6° | 5.20 x 5 .20 mm | |
| A7M20.2-2000AL | ±5.5° | 5.20 x 5 .20 mm | |
| A5M24.3-2400AL | ±5.7° | 7.25 x 7.25 mm |
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※表の数値は典型値です。 実際の値は、製造後に添付されるデータシートに記載されます。
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※各サンプルデータシートに記載の “SXXXX” という番号は、製造シリアル番号です。
貼付型ミラー 一覧
ミラクルMEMSミラー（貼付型）の製品一覧表です。 ✓ 記号をクリックするとサンプルデータシート（PDF）が表示されます。
お問合せの際は、 ①アクチュエーター名 ・ ②ミラー径 をお知らせください。
| アクチュエーター名 | Mechanical Angle | Die Size | ミラー径 2.0 mm | ミラー径 2.4 mm | ミラー径 3.0 mm | ミラー径 3.6 mm | ミラー径 4.2 mm | ミラー径 4.6 mm | ミラー径 5.0 mm | ミラー径 6.4 mm | ミラー径 7.5 mm |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| A7B1.1 | ±6.3° - 7.8° | 5.20 x 5.20 mm | NR | NR | NR | NR | NR | ||||
| A7B2.3 | ±6.0° - 6.2° | 5.20 x 5.20 mm | NR | NR | NR | NR | NR | NR | |||
| A8L2.2 | ±5.1° | 7.25 x 7.25 mm | NR | NR | NR | NR | |||||
| A5L3.3(C2) | ±4.4° | 7.25 x 7.25 mm | NR | NR | |||||||
| A5L3.3(C1) | ±2.6° - 2.7° | 7.25 x 7.25 mm | NR | ||||||||
| A5L2.2 | ±1.1° - 1.2° | 7.25 x 7.25 mm |
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※NR = Not Recommended
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※表の数値は典型値です。 実際の値は、製造後に添付されるデータシートに記載されます。
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※各サンプルデータシートに記載の “SXXXX” という番号は、製造シリアル番号です。
パッケージオプション
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※LCCパーケージは、tinyPCB上にマウントして提供します。
技術資料
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