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MFIA 5M / MFIA 500k*
5MHz/500kHz インピーダンスアナライザ
       高精度 LCRメータ

品 名 MFIA 5M / MFIA 500k 5MHz/500kHz インピーダンスアナライザ
価 格 オープンプライス お見積は都度お問い合せください。
参考本体価格 現在為替が不安定なため、都度お問合せ下さい。
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MFIA は、周波数範囲 DC~5 MHz におけるインピーダンス測定に対し、
新しい基準を打ち立てるフルデジタル・インピーダンスアナライザ、高精度 LCR メータです。
MFIA は、0.05% の基本確度と 1 mΩ~1 TΩ にわたる測定範囲を提供します。
自動平衡ブリッジ法等を使用せず、高精度ロックインアンプ技術を使用して、
電圧と電流信号を直接高精度に測定します。
その結果、MFIA は最低 1mHz の周波数で測定することができ、
1 TΩ までの信頼性の高いインピーダンス測定を提供します。
また、MFLI ロックインアンプのすべての機能を搭載してるため、
DC~5MHz ロックインアンプとしても活用できます。

LabOne® ユーザインターフェースを備えた MFIA では、
FFT 付きオシロスコープ、スペクトラムアナライザ、パラメータスイーパ、
測定結果の時間変化を観測し表示するプロッタ機能が標準装備されています。
これにより、測定結果の様々な解析を特別なソフトウェアを
インストールすることなく行えます。

* MFIAシリーズインピーダンスアナライザには、5MHzモデルと500kHzモデルがあります。
最大周波数以外の仕様は、完全に同一です。
ご使用になられる最大周波数に合わせて選定してください。
なお、500kHzから、5MHzへのアップグレードは、 MF-F5Mオプションを追加購入していただきますと、
メーカーへの返送なく、お使いのままアップグレードが可能です。


データシートダウンロード MFIA 5MHz インピーダンスアナライザ、高精度 LCRメータ
(日本語 Ver.1.0_1907 PDF:871KB)

特 長

  • パラメータスイーパにより周波数スイープ、出力振幅スイープ、バイアス電圧スイープなど、
    様々な自動測定を提供
  • 基本確度 0.05% の高精度測定
  • < 20 μs の高速測定
  • 高い測定の再現性と小さな温度ドリフト
  • 2台同期動作モード
  • 16 bit, 60 MSa/s 入力 ADC によるフルデジタル測定
  • MFLI ロックインアンプのすべての機能を搭載
  • 低ノイズ測定の為の DC 電源駆動可
  • 小型軽量: 232 幅 x 283 奥行 x 102 高 (mm)、3.8 kg

仕 様

測定モード DC 測定、交流 LCR 測定、周波数スイープ、出力振幅スイープ、
バイアス電圧スイープ など
インピーダンス測定モード 2端子法 / 4端子法
測定パラメータ V, I, Θ, Rdc (直流抵抗), Z, Rp, Cp, Lp, Rs, Cs, Ls, G, B, D, Q
測定モデル    Rp || Cp, Rp || Lp, Rs+Cs, Rs+Ls, G-B, D-Cs, Q-Cs, D-Ls, Q-Ls
周波数レンジ DC ~ 5 MHz (分解能 1 μHz)
基本確度 0.05%(1 mHz to 500 kHz)
インピーダンス測定レンジ Z 1 mΩ ~ 1 TΩ
抵抗測定レンジ Rp, Rs  1 mΩ ~ 10 GΩ
キャパシタンス測定レンジ Cp, Cs  10 fF ~ 1 F
インダクタンス測定レンジ Lp, Ls  100 nH ~ 1 H;
補正        SO, SOL, LLL, SL, L, OL (S:ショート、O:オープン、L:ロード)
出力インピーダンス 50 Ω
出力信号振幅 ±10 V
バイアス電圧 ±10V
入出力端子 差動出力*(BNC x 2)、差動電圧入力*(BNC x 2)、電流入力*(BNC)
AUX 入力1,2(BNC)、AUX 出力1,2,3,4(BNC)
トリガ/参照信号入力1,2(BNC)、トリガ/参照信号出力1,2(BNC)
* 市販のフィクスチャと互換性のある 22 mm 間隔端子
API            C, MATLAB®, LabVIEW®, Python  
インターフェイス USB 2.0, 1 GbE イーサネット
AC電源入力 100 ~ 240 V(±10 %), 50 / 60 Hz
DC電源入力 12 V, 2 A
サイズ 232 幅 x 283 奥行 x 102 高(mm) (ラックマウントオプション有)
重量 3.8 kg

測定範囲と確度

精度と測定範囲

下のリアクタンスチャートは、特定の周波数やインピーダンス値に対する機器の精度を示しています。
白で示されている幅広い中心域では、1 mHz~500 kHz、1 Ω~1 MΩ の 0.05% の精度が詳細に記載されています(高周波数に対する制限あり)。
10 mΩ~1 GΩ の測定範囲を網羅するために精度を 0.1%~1% に特定し、下げることで測定範囲がさらに広がります。
この範囲外であっても、反復可能な測定を行うことができますが、精度は 1 % よりも落ちる場合があります。
低周波数で高インピーダンスを測定することは、電源ライン周波数の近くで値を取得する必要がある場合、特に困難です。
適切なサンプルシールドとsincフィルタおよびバッテリ動作の可能性により、最も正確な結果が得られます。

基本確度リアクタンスチャート拡大

これらのリアクタンスチャートは、MFIAのさまざまな測定範囲に対する精度仕様と温度ドリフトを示しています。


測定パラメータ、範囲、精度典型値

インピーダンス Z 1 mΩ ~ 1 TΩ、0.05%
アドミタンス Y 1 pS ~ 1 kS、0.05%
電圧 V 0 V ~ 3 V、1%
電流 I 0 mA ~ 10 mA、2%
位相 ΘZ、ΘY、ΘV、ΘI ±180度、10 µdeg 応答
抵抗 RS、RP 1 mΩ ~ 1 TΩ、最大(10 µOhm、0.05%)1
キャパシタンス CS、CP 10 fF ~ 1 F、最大(10 fF、0.05%)1
インダクタンス LS、LP 100 nH ~ 1 H、最大(10 nH、0.05%)1
DC 抵抗 RDC 1 mΩ ~ 10 GΩ、2%
リアクタンス X 1 mΩ ~ 1 TΩ、0.05%
コンダクタンスG、サセプタンス B 1 nS ~ 1 kS、最大(100 nS、0.05%)
損失係数 D 10-4 ~ 10'000
Q 因子 10-4 ~ 10'000

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