PFA 精密オートフォーカスシステム
“PFAセンサ”はWDI社の次世代・精密オートフォーカスシステムです。この１台の中に世界最速クラスの顕微鏡システムを実現するためのテクノロジが搭載されています。
PFAセンサは、WDI社の既存のセンサ、ATFシリーズからデザイン（設計）を刷新し、最新のコンポーネンツを採用、光学仕様、画像処理能力、計算処理能 力、通信性能、ソフトウェア、すべての分野で飛躍的に機能が向上しています。
PFAセンサは、幅広い用途とお客様の高い要求に柔軟に対応し、光学、画像処理、レーザ加工、通信の分野で著しい進歩に貢献します。
- より高いリフレッシュレート、および高精度 / 高速測定、さらに高い再現性を実現
- １５倍の感度（当社比）、グローバルシャッタ、レーザAFとビデオAFの機能強化
- メモリ、プロセッサの性能の大幅改善によるプログラマビリティの向上
- ギガビットイーサネット通信とLinux OS採用による 信頼性と機能の向上
- インターフェースを刷新し 組込み/統合化がシンプルに
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PFA 精密オートフォーカスシステム
376KB 日本語 Ver.2.0_2212
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精 度 |
インテグレーション |
柔軟性 |
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| ギガビット・イーサネット通信と結合された最新の光学系、画像処理、および計算処理が、今日利用可能な最速のオートフォーカスソリューションを実現します。 | 強力なプロセッサと高度なアルゴリズムを伴う新しいイメージセンサは、薄さ0.3mm程度のサンプル上で焦点深度0. 2 5未満のオートフォーカス精度を提供します。 | より高いパワー、強化されたレーザ整形、柔軟な出力、および直感的なソフトウェアは、外部コントローラを必要とせずに、PFAを光学的、機械的、および電気的に一体化することをより容易にします。 | スタンドアローン、または統合ソリューションとして使用できるのでPFAセンサは事実上、多くのイメージングシステム、また、FPD、半導体検査、バイオメディカルイメージング、マシンビジョン計測などの用途にも適応することができるでしょう。 |
PFA 特長
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基板、パターン化された表面、またはさまざまな反射率が混在する
厳しいアプリケーション向けに、レーザオートフォーカスと
ビデオオートフォーカスを選択して使用可能 -
高度な表面認識機能により、多層試料中の特定の表面を識別し、
連続的に焦点を合わせることが可能 -
プログラム可能な16 bit ±10 V AO範囲により、サードパーティのピエゾ、リニア、
またはDIO制御Zアクチュエータと簡単に統合可能 -
Alignment and Tune Upウィザードソフトウェアにより
迅速かつ簡単な統合と最適化を実現 -
診断およびパフォーマンスレポートにより、
リアルタイムの分析および統計メトリックを提供
PFA 仕様
| レーザ：パターン | ライン | ライン処理方法 | 動的に調整可能なROI |
| 使用可能波長 | 680 nm、785 nm | レーザ出力 | 最大 2.7 mW、Class 3R |
| スタンドオフ距離 | 最大 300 mm | サンプリングレート | ～3.5 kHz (SWIFT 7 kHz) |
| 静的オートフォーカス精度 | ± 0.25 対物レンズDOF以内 | 自動焦点精度の追跡 | ± 0.33 対物レンズDOF以上 |
| 内部画像センサ | 1.3 MP 4.8 μm px 200 fps | シャッタ型式 | 低騒音グローバルシャッタ |
| 内部プロセッサ | Dual Core ARM A9 @ 533 MHz | メモリ | 512 MB DDR3 および 32 MB フラッシュ |
| パソコン通信 | ギガビットイーサネット | オペレーティングシステム | Linux OS |
| 対物レンズ(NA) | リニアレンジ (μm) |
キャプチャレンジ (μm) |
3-Sigma繰り返し精度 (μm) |
オートフォーカス速度 (ms) |
| 5X / 0.14 | ± 660 | ± 10000 | < 2 | < 75 |
| 10X / 0.28 | ± 170 | ± 6000 | < 1 | < 65 |
| 20X / 0.42 | ± 160 | ± 4300 | < 0.5 | < 120 |
| 50X / 0.55 | ± 30 | ± 1000 | < 0.5 | < 120 |
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