MMS オートフォーカス顕微鏡モジュール / システム
トラッキングオートフォーカス ATFシリーズを組み込んだオートフォーカス顕微鏡システムを
構築するための各種モジュール（Z軸アクチュエータ、高輝度LED照明、レンズチェンジャ、
VMU用アダプタ）をご紹介しています。
モジュールタイプですので、お客様のご希望に応じてカスタマイズが可能です。
製品ラインアップ
ATF
高速レーザオートフォーカス
液晶検査・リペア装置に搭載されている高精度トラッキングオートフォーカスユニットです。 ハイスループットを要求される液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない高速トラッキングを実現します。
LLC
高速リニアレンズチェンジャ
６レンズ装着で高速レンズ切替えが可能です。対物レンズ倍率切り替え頻度の高い工程に威力を発揮します。
WLED
高輝度照明用LED
微細加工および顕微鏡用一般照明として最適の同軸照明用白色LEDユニットです。タングステンハロゲン球に固有の発熱、かさばるファイババンドル、球の定期的換から開放されます。
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ZAA
Z軸アクチュエータ
WDI の Z 軸アクチュエータ (ZAA) ラインナップは広い用途の動力化された “Z” の焦点合わせシステムであり、自動的で高速かつ正確に、対物レンズ単体あるいはリニアまたは回転式の対物レンズ変換器を動かすことができます。
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DOF-5
対物レンズフォーカス用
リニアサーボモータ式
Z軸アクチュエータ「ショート・トラベルレンジ」と「圧電鳴音」という従来のピエゾ Z 軸アクチュエータの制限から、顕微鏡ユーザ開放します。スピードや分解能など、ピエゾにおけるすべての利点を低価格で提供します。
オートフォーカス顕微鏡システム 構築例
オートフォーカス顕微鏡
（リニアレンズチェンジャ対応）
オートフォーカス顕微鏡 広視野モデル
（リニアレンズチェンジャ対応）
オートフォーカス顕微鏡
（レボルバ対応タイプ）
光オフセットアジャスタ付
オートフォーカス顕微鏡 （レボルバ対応タイプ）
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