WDI Wise Device

ATF 高速レーザオートフォカス


オートフォーカスセンサ

WDI のコアテクノロジは、お客様がお持ちの顕微鏡システムや
WDI 製の顕微鏡システムに組み込み可能なオートマチック
デジタルオートフォーカスセンサ(ATF)シリーズです。

多種多様なアプリケーションの要求を満たすために、
色々な タイプのセンサモデルが利用可能です。

それぞれのモデルは特定の要件に応じて独自のオプションがあります。
WDIの ATF テクノロジは、フラットパネルディスプレイ、電子機器、
半導体製造など、世界中の様々な環境で使用されています。

バイオメディカル研究およびイメージングオートメーション 用途にも
使用されています。

  • 「スマート・センサ・アーキテクチャ」(SSA)半導体レー ザ、
    CMOS イメージセンサ、FPGA および マイクロプロセッ サを
    組み込んでいます。

  • 高速、高精度、信頼性と再現性のあるパフォーマンス

  • 静止している、または動いている様々な表面および基板に
    リアルタイムでトラッキング(追従)オートフォーカスする機能

  • 様々なシステムで利用可能です。多様なオプションによ り、
    複雑なアプリケーションと要求の厳しいシステム環境に適応可能です。

オートフォーカスセンサ

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静的、動的フォーカス   高速・高精度   統合と実装の容易化   柔軟性の高さ
静的、動的フォーカス
高速・高精度
統合と実装の容易化
柔軟性の高さ
レーザ光学系と内蔵マイ クロプロセッサの組み合 わせにより、WDI の ATF セ ンサは静止面と動的に動 いている面の両方に等しく フォーカスすることができ ます。これをサポートでき たのは、実際の製造現場 で 10 年以上顧客と協力し 課題を解決した経験によ ります。 ATF センサは、20kHz のリ フレッシュレートと最大 6.5kHz のアウトプットレー トで、フォーカスする“距 離”と“方向”をすばやく決 定します。自動調整、高度 な処理、およびオンボード アルゴリズムにより、ATF センサは高速で移動する 複雑な表面上でもトラッキ ング (追従) フォーカスする ことができます。 インテグレーションと実装 の容易さは、ATF の重要な 特徴です。アナログ出力と デジタル出力の両方の機 種が利用可能です。多くの サードパーティ製ステッ パ、リニアおよびピエゾ Z ステージシステムにも対応 でき、多数のコントローラ オプションも利用可能で す。ATF コントロールソフト ウェアと SDK が標準で利 用できます。 WD I の AT F センサは、パ ターンの有るサンプルや無 いもの、ザラザラや拡散な どの、多種多様なサーフェ スで有効です。ATF は自動 的に反射率の変化を感知 し、レーザパワー調節する ことによって、表面の反射 率の変動に適応すること ができます。センサは、2 倍 から 100 倍の対物レンズ、 UV、NUV、NIRなどの波長 に対応しています。


動作原理


動作原理についてATF センサは、スルー・ザ・レンズ (TTL) 三角測量の原理を使用して、
フォーカスを合わせる方向と距離を認識することにより、
一般の近接センサの技術的な多くの問題を解決しています。

成形したレーザ光パターンを、対物レンズを通してサンプルに照射します。
それはサンプルによって反射され、対物レン ズを戻って ATF 内部のイメージセンサで結像され、
分析されて、最良のフォーカシングのために、距離および方向を計算します。

レーザパターンが最小のドットまたはラインになるとき、サンプル面はフォーカスしています。
レーザパターンが半円または長方形として大きくなる場合、
サンプル面はフォーカス位置の上または下にあります。

ATF は対物レンズの焦点深度 DOF の中心付近に、フォーカスを合わせるために
距離と方向の両方を素早く認識し、Z ステージ (ZAA) をコントロールします。

フル・ソフトウェア・サポート


WDI ATF センサは、コントロールソフトウェア(左図)と開発用 SDK ライブラリをサポートしており、お客様が作成したアプリケーションからの制御による装置 組み込みも可能です。

「Move & Graph (Z ポジション測定機能) 」やフォーカス位置チューニング「Wizard」などの機能により、インストールとアライメントプロセスが簡単にできます。

カスタマイズには、最大 8の対物レンズと 5つのターゲット材料または基板のパラメータを登録する機能があります。

高度なオプションとして、ATF が TFT アレイなどの多層レイヤの各サーフェスからの反射を区別して特定の基板に選択的にフォーカスすることを可能にする「セルモジュール」や、ターゲットが PCB などの異なる高さおよび反射率からなる複数のサーフェスから構成される場合に使用される「マルチプレーンオートフォーカス」などがあります。



モデル・画像をクリックしますと、製品ページ またはデータシート(PDF)にジャンプします。

モデル レーザパターン 波 長 アプリケーション 概 要
ATF6.5 レーザライン 680nm
785nm
  • Patterned wafer inspection
  • CVD, TFT and photo mask
    inspection & repair
ATF6 のハードウェア、ソフトウェアを
改善し、機能強化したモデルです。
ATF6 SWIFT レーザライン 510nm
660nm
785nm
830nm
  • Patterned wafer inspection
  • CVD, TFT and photo mask
    inspection & repair

レーザパターンがマルチドットから
ラインになりフォーカス情報が増加した為、
オフセットフォーカスや鏡面サンプル、
太陽電池パネル等のサンプルにも
フォーカスできます。

ATF4 シングルドット 658nm
785nm
850nm
  • Laser Scribing
  • Glass Inspection,
    un-patterned Si wafer
  • Color filter inspection
  • Laser micro-machining

ハイスループットを要求される現代の
液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない
高速・高精度トラッキングを提供します。
その性能は実証済みです。



オートフォーカス 仕様


ATF タイプ ATF 4 ATF 6 ATF 6.5
使用可能波長 (nm)  658, 785, 850  510, 660, 785, 850  680, 785
出力 (mW)  658 785 850 660 785 680 785
0.28 0.8 0.17 0.25 0.18 1.8 2
レーザ安全クラス 1 1 (658), 3 B (510, 785, 850) 3 B
最大設置距離 (センサから対物間) 200 mm  300 mm 
内部リフレッシュレート  20 kH 
出力データレート (Z ステージに対して) 1.7 kHz / 6.5 kHz 
照射レーザ形状 シングルドット ライン  
サンプル反射率 1 % ~ 99 %
静的オートフォーカス精度  ± 1/4 対物レンズ DOF 以内
動的 (追従 ) オートフォーカス精度 ± 1/2 対物レンズ DOF 以内
オートフォーカス繰り返し精度 1/3 対物レンズ DOF 以内

対物レンズ (NA) リニアレンジ (μm) ※距離認識範囲 キュプチャーレンジ (μm) ※AF 動作可能範囲
ATF 4 ATF 6 ATF 6.5 ATF 4 ATF 6 ATF 6.5
5X / 0.14  ± 500 ± 560 ± 420 ± 3000 ± 3000 ± 5000
10X / 0.28  ± 100 ± 130 ± 100 ± 1000 ± 1500 ± 3000
20X / 0.42  ± 30 ± 30 ± 25 ± 600 ± 600 ± 1800
50X / 0.55  ± 20 ± 10 ± 10 ± 200 ± 250 ± 750


スペシャルエディション


ATF4-OA ATF6-PZ ATF6-DOF ATF6-WASP
ATF 4-OA
ATF 6-PZ
ATF 6-DOF
ATF 6-WASP
DNA シーケンサに最適な
「光学アジャスター付き」モデル
サードパーティ製
ピエゾ Z 軸に対応したモデル
Dove r社 DOF-5 対応モデル
(ヒエゾ並の分解能、5 mm レンジ)
偏光フィルム面に対応する
「WASP」モデル
 

ATF 4-PZ

ATF 4-PZ

ATF 6-PZ SWIFT

ATF 6-PZ SWIFT

ATF 6 SWIFT

ATF 6 SWIFT
 

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