ATF 高速レーザオートフォカス

世界有数の液晶検査・リペア装置に搭載されている、高精度トラッキングオートフォーカスユニットです。

長年の液晶検査・リペア分野での経験により、ハイスループットを要求される
現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、高速トラッキング性能を実現しました。

対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、原理的には、
ゼロフォーカスタイムの理想的なトラッキングを提供しています。
カメラ、フレームグラバボードが不要で、コンパクトで軽量なユニットです。


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モデル レーザパターン 波長 アプリケーション 概要
ATF4 シングルドット 660nm
785nm
 or
850nm
  • Laser Scribing
  • Glass Inspection,
    un-patterned Si wafer
  • Color filter inspection
  • Laser micro-machining

ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない高速・高精度トラッキングを提供します。その性能は実証済みです。

ATF4-PZ シングルドット 660nm
785nm
  • Piezo Z actuators for
    inspection & repair
  • Laser micro-machining
    systems

ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない高速・高精度トラッキングを提供します。その性能は実証済みです。

ATF5 マルチドット 660nm
785nm
  • TFT Inspection
  • Photo Mask Inspection
    & Repair
  • Laser micro-machining &
    Wafer inspection and repair
TFT向けに特化したオートフォーカスでレーザドットをグレーティングで分裂させてマルチドットとして使用しています。分解能はATF6よりやや上になっています。
ATF6 SWIFT レーザライン 510nm
660nm
785nm
  • Patterned wafer inspection
  • CVD, TFT and photo mask
    inspection & repair

レーザパターンがマルチドットからラインになりフォーカス情報が増加したため、オフセットフォーカスや鏡面サンプル、太陽電池パネル等のサンプルにもフォーカスできます。

ATF6-PZ SWIFT レーザライン 660nm
785nm
  • Piezo Z actuators for
    inspection & repair
  • Laser micro-machining
    systems
レーザパターンがマルチドットからラインになりフォーカス情報が増加したため、オフセットフォーカスや鏡面サンプル、太陽電池パネル等のサンプルにもフォーカスできます。
ATF6.5 レーザライン 660nm
785nm
  • Patterned wafer inspection
  • CVD, TFT and photo mask
    inspection & repair
ATF6 のハードウェア、ソフトウェアを改善し、機能強化したモデルです。

日本語カタログ Ver.1.0_1903


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