IRLC 赤外レーザ走査型共焦点顕微鏡

赤外レーザ走査型共焦点顕微鏡 IRLC


目に見えない表面下の欠陥検査に

マイクロクラック、マイクロボイド(微細空孔)のような、目に見えない表面下の欠陥や
製造上の欠陥は見過ごされることが多いです。
製造中の高濃度でのドーピングは、ウエハやチップパッケージの非破壊検査/観察を
非常に難しくします。
近赤外(NIR)または赤外(IR)光源を使った、スタンダードな広域検査ツールは存在しまが、
これらのシステムでは深く浸透させることができず、特定のフォーカス面で選択的に
画像化することしかできません。

シリコン内部の検査を実現する近赤外共焦点顕微鏡

パワフルな近赤外レーザとスキャニング共焦点顕微鏡を組み合わせることにより、
従来の広域IR顕微鏡システムに、更にいくつかのユニークな利点が生まれました。
まずは、透明や半透明サンプルの表面下の薄い部分または光学切片の高分解能画像の作成です。
また、このシステム構成により、ターゲットへのより深い浸透、より高い分解能、
高速画像収集にもつながります。

ブラックマトリックス下のトランジスタ構造を映し出すTFTアレイの20X NIR共焦点画像     ブラックマトリック下に隠れた、トランジスタを持つ (TFT) アレイの20X明視野画像
ブラックマトリック下に隠れた、トランジスタを持つ (TFT) アレイの20X明視野画像     ブラックマトリックス下のトランジスタ構造を映し出すTFTアレイの20X NIR共焦点画像

フォーカスしたままワンクリックで継続的デュアル観測

IRLC には、カラー CMOS カメラと明視野イメージングのための LED 照明システムが含まれ、
オペレータが目的とするエリアをすばやく捉えることができます。
表面検査用システムは、近赤外レーザとスキャニング共焦点顕微鏡を搭載しています。
この組み合わせで、サンプルの表面下 800µm までのより深い画像化が可能です。
ワンクリックでこの観察方法を切り替えられます。
IRLCは、WDIのオートフォーカス 6 センサ (ATF6)、光学オフセットアジャスタ (OOA) と
速Z軸アクチュエータ (ZAA) 技術を使用し、観測方法や表面計測の変化に関わらず
一定のフォーカスにとどまります。


リニアXY測定と高度な画像取得が可能

ソフトウエア内の測定タブで、リニア XY「点から点」と「点から多点」測定が可能です。
測定は、ソフトウエア内に表形式で記録および保存され、分析用に .csv でエクスポートもできます。
システムには、高度な画像取得オプションがあり、フレームの平均化、平均化された画像、
最大 Z 投影デルタ Z オーバーレイおよび2点画像シーケントキャプチャ間の
一画像シーケンスの取得などができます。


検査ルーチンの完全自動化

IRLC に統合されたモータリゼーション、オートフォーカスを自動化コントロールソフトウエアと
組み合わせることにより、完全自動化検査ルーチンをおこなうよう設定することができます。
簡単かつ直感的なユーザーインターフェイスを通し、ROI、倍率、深さや照明の輝度設定などの
様々な個々の位置パラメータを定義できます。
これらのルーチンは、複数サンプルに対して実行可能で、検査プロセスの完全自動化を実現します。


高スループット検査用レシピの作成

IRLC は、ウエハやICストリップとトレーパッケージ両方の完全検査レシピの作成と実行を
おこなうことができます。
ウエハ、トレーまたはストリップとICパラメータの定義は、画像インターフェイスを通して
簡単にできます。
コーナ検出機能はアライメントに関係なく、IC 位置登録を自動化します。
一度レシピが作成されると、レシピは他の個々のサンプル、またはトレー全体や
デバイスのストリップに対して実行され、検査の精度や信頼性や全体のより良い効率を確証します。

CATEGORY SPECIFICATION IRLC SYSTEM LSCM SYSTEM
General System System class  Class 1 
Observation methods   NIR laser scanning confocal,
conventional brightfield 
Electrical   3 separate AC outlets, 100-240 V,
50/60 Hz, single phase 
Current  13.0 A total system  
Operating temperature   10℃ to 30℃ ambient 
Operating humidity   < 70% non-condensing 
Weight (main unit)  900 kg  175 kg 
Lens Changer  Motorized turret  6 lens capacity 
Z Stage Jack  Stroke  Motorized, 50 mm stroke  Manual, 75 mm stroke
Motorized Z Actuator

(Hybrid ZAA also available
for high speed IRLC) 
Type  1/32 stepper motor 
 Travel  10 mm 
Resolution  0.157 μm  0.250 μm 
Maximum speed   10 mm/sec 
Maximum load  3.5 kg  
Motorized XY Stage

(Manual stage also available
for LSCM) 
Type  Linear encoder stepper motor 
Travel   300 mm x 300 mm  200 mm x 200 mm
 Resolution  0.1 μm 
Maximum speed    120 mm/sec
Accuracy   20 μm/300 mm 
 Repeatability   1 μm
Maximum load    1 kg
Autofocus  Structured light pattern  Line segment 
Sensor wavelength  658 nm  
Image detector   Area scan CMOS 
Motorized OOA  Depth range  0 to 800 μm 
Brightfield Illumination  Type  Super bright white LED 
Brightfield CMOS Camera  Size  1/2 inch 2 MP CMOS 
Resolution   1600 X 1200 
Frame rate   10 FPS full resolution 
Bit depth   10 bits 
 Pixel size  4.2 μm X 4.2 μm 
Confocal Illumination  Type  Single mode laser diode 
Maximum laser power  500 mW  300 mW 
Wavelength  1155 nm  1178 nm 
Typical spectral width  5.0 nm  2.3 nm 
Confocal Photodetector  Spectral response range  900 nm ~ 1700 nm 
Resolution  496 x 500  512 x 512 
Bit depth   8 bits 
Virtual pixel size   7.5 μm standard 
5X 10X 20X 50X 100X a
Numerical Aperture  0.1 0.3 0.45 0.65 0.85
Working Distance  23 mm  18 mm  8.3 mm  4.5 mm  1.2 mm 
Field Number  22 22 22 22 22
Correction Collar    Yes  Yes  Yes 
Glass Thickness Correction      0~1.2 mm  0~1.2 mm  0~0.7 mm 

a:100X objective is optional on LSCM.

IRLC システム

図面


LSCM システム

図面

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