Sill OPTICS

光学ガラスfシータ (fθ) レンズ

fシータ (fθ) レンズ


XYガルバノスキャナ、またはポリゴンスキャナと組み合わせて使用されるレンズは、ƒθレンズ、
平面視野対物レンズ(Plane field object lens)、または単にスキャンレンズと呼ばれています。

ƒθレンズは、医療やバイオテクノロジ(共焦点顕微鏡、眼科)、科学や研究に加えて、工業材料のレーザ加工、
レーザドリリング(穴あけ)、 合成材料のレーザ溶接、レーザ切断など、さまざまな用途で使用されています。

一般的にƒθレンズは、

  • 標準ƒθレンズ
  • テレセントリック ƒθレンズ

の2種類に分けられます。

標準ƒθレンズは、球面状になる焦点を補正し、理想的な平面照射をもたらします。
標準ƒθレンズを使用することで、平面集光面が得られ、XY 画像平面 または スキャンフィールド全体にわたって
ほぼ一定のスポットサイズが得られます。
像面上のスポットの位置は、スキャン角度に正比例します。

テレセントリック ƒθレンズは、像面に垂直入射するビームを提供します。
これは、穴を開けたり、3次元(深さ)の表面を構造化したりするために必要です。
しかし、非テレセントリックレンズに比べて焦点面が小さくなるという欠点があります。

現在、Sill Optisでは、明確に、標準ƒθレンズとテレセントリック ƒθレンズを定義していません。
Max.Telecentricity Error [°] の値の大小で、用途あったスキャンレンズかの判断をお願いします。

標準ƒθレンズとテレセントリック ƒθレンズ


レーザ用レンズ素材について

短パルスレーザや超短パルスレーザだけでなく、平均出力の高いレーザはレンズにとって重要な課題です。
レーザ加工は、通常の光学ガラスの特性に強く影響されます。
例えば、熱レンズ効果はビーム形状と作動距離ともに変化をもたらします。
この点、合成石英は光学ガラスと比較して熱影響に対する感度が低いという決定的な利点があり、
短パルス / 超短パルスレーザ光源での使用を強く推奨します。


適切なレンズ選択への確認項目

  • 入射レーザ(波長、ビーム径 (1/e²)、パワー、パルス幅等)
  • スポット径
  • スキャンエリア(Scan size)
  • 必要なワーキングディスタンス

製品一覧

Part Number Wavelength
[nm]
Focal
Length
[mm]
Scan Area
[mm x mm]
Focus Size
(1/e²)
Max.
Beam-θ
 [mm]
Max.
Telecentricity
Error [°]
Working
Distance
[mm]
SP/USP* Achromatic aperture
stop
[mm]
max.
outside-Φ
[mm]
Length
[mm]
mounting
thread
protective
window
S4LFT7010/450 1000-1100 100 35x35 18.3 10 1.5 115.0 yes yes 32.0 94.0 98.8 M85x1 S4LPG0005/450
S4LFT0350/126 1064 350 212x212 56.3 12 16 412.2 no no 22.5 95.0 52.0 M85x1 S4LPG0003/126
S4LFT1254/126 1064 254 160x160 41.4 12 14.9 306.5 no no 23.5 109.0 55.3 M85x1 S4LPG0250/126
S4LFT0163/126 1064 163 107x107 26.4 12 15 181.2 no no 22.0 89.0 43.3 M85x1 S4LPG0005/126
S4LFT0253/126 1064 254 160x160 35.2 14 16.7 284.9 no no 27.0 89.0 43.1 M85x1 S4LPG0005/126
S4LFT0508/126 1064 508 325x325 55.6 20 16.3 651.4 no no 45.0 127.0 56.9 M85x1 ---
S4LFT0635/126 1064 635 370x370 51.3 25 16.3 732.8 no no 75.0 133.0 48.5 M110x1 ---
S4LFT0080/126 1064 80 39x39 6.5 25 3.8 79.4 no no 27.2 107.0 84.1 M85x1 S4LPG1080/126
S4LFT0420/126 1064 420 242x242 27.7 30 14.8 480.9 no no 59.5 136.0 52.0 M132x1 ---
S4LFT3254/126 1064 254 115x115 16.6 30 8.5 297.0 no no 48.9 130.0 76.0 M85x1 S4LPG0300/126
S4LFT1163/081 532+1064 163 102x102 13.3/20.0 12 12.7 159.0 no yes 29.0 106.0 82.5 M85x1 S4LPG0090/081
S4LFT8254/081 532+1064 254 180x180 16.6/33.0 15 19.7 211.6 no yes 250.0 128.0 122.0 M85x1 S4LPG0300/081
S4LFT7012/292 515-589 100 35x35 9.4 10 1.3 101.4 yes yes 36.1 94.0 98.8 M85x1 S4LPG0005/292
S4LFT5100/121 532 100 69x69 9.8 10 2.4 126.7 no no 30.0 128.0 85.5 M85x1 S4LPG0300/121
S4LFT0300/121 532 300 200x200 19.4 14 15.8 324.1 no no 43.0 130.0 58.0 M102x1 S4LPG0300/121

* usable for SP=Short Pulse, USP=Ultra Short Pulse
In case of deviations from the standard portfolio and delivery times, please contact our Customer Care Team.

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