ｆシータ (ｆθ) レンズ
合成石英

XYガルバノスキャナー、またはポリゴンスキャナーと組み合わせて使用されるレンズは、ƒθレンズ、
平面視野対物レンズ（Plane field object lens）、または単にスキャンレンズと呼ばれています。

ƒθレンズは、医療やバイオテクノロジ（共焦点顕微鏡、眼科）、科学や研究に加えて、工業材料のレーザー加工、
レーザードリリング（穴あけ）、合成材料のレーザー溶接、レーザー切断など、さまざまな用途で使用されています。

一般的にƒθレンズは、

標準ƒθレンズ
テレセントリック ƒθレンズ

の２種類に分けられます。

標準ƒθレンズは、球面状になる焦点を補正し、理想的な平面照射をもたらします。
標準ƒθレンズを使用することで、平面集光面が得られ、XY 画像平面またはスキャンフィールド全体にわたってほぼ一定のスポットサイズが得られます。
像面上のスポットの位置は、スキャン角度に正比例します。

テレセントリック ƒθレンズは、像面に垂直入射するビームを提供します。
これは、穴を開けたり、３次元（深さ）の表面を構造化したりするために必要です。
しかし、非テレセントリックレンズに比べて焦点面が小さくなるという欠点があります。

現在、Sill Optisでは、明確に、標準ƒθレンズとテレセントリック ƒθレンズを定義していません。
Max.Telecentricity Error [°] の値の大小で、用途あったスキャンレンズかの判断をお願いします。

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レーザー用レンズ素材について

短パルスレーザーや超短パルスレーザーだけでなく、平均出力の高いレーザーはレンズにとって重要な課題です。
レーザー加工は、通常の光学ガラスの特性に強く影響されます。
例えば、熱レンズ効果はビーム形状と作動距離ともに変化をもたらします。
この点、合成石英は光学ガラスと比較して熱影響に対する感度が低いという決定的な利点があり、
短パルス / 超短パルスレーザー光源での使用を強く推奨します。

適切なレンズ選択への確認項目

入射レーザー（波長、ビーム径 (1/e²)、パワー、パルス幅など）
スポット径
スキャンエリア（Scan size）
必要なワーキングディスタンス

1064 nm

PART NUMBER	FOCAL LENGTH [mm]	SCAN AREA [mm x mm]	FOCUS SIZE (1/e²)	MAX. BEAM-⌀ [mm]	MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°]	WORKING DISTANCE [mm]	SP/USP*¹
S4LFT0710/328	100	60 x 60	39.1	5	11.5	120.7	yes
S4LFT4010/328	100	35 x 35	19.5	10	1.3	129.8	yes
S4LFT4127/328	125	50 x 50	13.6	15	1.5	157.6	yes
S4LFT0763/328	163	100 x 100	45.6	7	14.6	194.1	yes
S4LFT3162/328	163	90 x 90	21.2	15	5.6	201.5	yes
S4LFT3167/328	163	100 x 100	32.6	10	11.6	200.7	yes
S4LFT0725/328	254	140 x 140	61.5	8	16.2	282.8	yes
S4LFT3250/328	254	160 x 160	33.2	15	10.7	321.3	yes
S4LFT1330/328	330	215 x 215	33.3	20	23.5	203.4	yes
S4LFT1420/328	420	280 x 280	58.5	14	17.3	499.2	yes
S4LFT1655/328	650	410 x 410	63.3	20	22.5	581.6	yes
S4LFT0910/328	910	500 x 500	65.8	30	16.2	1048.8	yes

532 nm

PART NUMBER	FOCAL LENGTH [mm]	SCAN AREA [mm x mm]	FOCUS SIZE (1/e²)	MAX. BEAM-⌀ [mm]	MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°]	WORKING DISTANCE [mm]	SP/USP*¹
S4LFT4148/292	48	6 x 6	3.2	15	1.8	60	yes
S4LFT4066/292	65	15 x 15	4.8	15	1.5	85.8	yes
S4LFT4010/292	100	35 x 35	9.8	10	1.5	130.2	yes
S4LFT4126/292	125	53 x 53	12	10	1.6	167	yes
S4LFT3161/292	163	90 x 90	15.4	10	4.8	219	yes
S4LFT4262/292	163	65 x 65	12.7	12	1.7	195.4	yes
S4LFT1330/292	330	212 x 212	24.3	14	20.3	279	yes

450 nm

PART NUMBER	FOCAL LENGTH [mm]	SCAN AREA [mm x mm]	FOCUS SIZE (1/e²)	MAX. BEAM-⌀ [mm]	MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°]	WORKING DISTANCE [mm]	SP/USP*¹
S4LFT4125/373	125	45 x 45	6.1	20	1.6	160.2	yes
S4LFT3170/373	168	75 x 75	7.6	20	3.2	228.3	yes
S4LFT3250/373	241	115 x 115	10	20	7.4	304.8	yes
S4LFT1330/373	330	180 x 180	10.7	20	11.1	268.2	yes

355 nm

PART NUMBER	FOCAL LENGTH [mm]	SCAN AREA [mm x mm]	FOCUS SIZE (1/e²)	MAX. BEAM-⌀ [mm]	MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°]	WORKING DISTANCE [mm]	SP/USP*¹
S4LFT4149/075	48	6 x 6	2.1	15	2.1	69.3	yes
S4LFT4067/075	65	15 x 15	3.1	15	1.8	81.7	yes
S4LFT4010/075	100	35 x 35	6.5	10	1.2	132	yes
S4LFT4125/075	125	53 x 53	8	10	1.1	156.9	yes
S4LFT3170/075	163	90 x 90	11.4	10	4.3	221.7	yes
S4LFT4262/075	163	65 x 65	10.5	10	2	193.7	yes
S4LFT1330/075	330	210 x 210	15.4	14	21	260.5	yes

266 nm

PART NUMBER	FOCAL LENGTH [mm]	SCAN AREA [mm x mm]	FOCUS SIZE (1/e²)	MAX. BEAM-⌀ [mm]	MAX. TELECEN- TRICITY ERROR [°]	WORKING DISTANCE [mm]	SP/USP*¹
S4LFT3170/199	154	85 x 85	7.7	10	3.8	208.1	yes
S4LFT4263/199	163	70 x 70	9.2	10	2.6	218.4	yes

*1

usable for SP=Short Pulse, USP=Ultra Short Pulse
In case of deviations from the standard portfolio and delivery times, please contact our Customer Care Team.

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