Sill OPTICS

合成石英fシータ (fθ) レンズ

fシータ (fθ) レンズ


XYガルバノスキャナ、またはポリゴンスキャナと組み合わせて使用されるレンズは、ƒθレンズ、
平面視野対物レンズ(Plane field object lens)、または単にスキャンレンズと呼ばれています。

ƒθレンズは、医療やバイオテクノロジ(共焦点顕微鏡、眼科)、科学や研究に加えて、工業材料のレーザ加工、
レーザドリリング(穴あけ)、 合成材料のレーザ溶接、レーザ切断など、さまざまな用途で使用されています。

一般的にƒθレンズは、

  • 標準ƒθレンズ
  • テレセントリック ƒθレンズ

の2種類に分けられます。

標準ƒθレンズは、球面状になる焦点を補正し、理想的な平面照射をもたらします。
標準ƒθレンズを使用することで、平面集光面が得られ、XY 画像平面 または スキャンフィールド全体にわたって
ほぼ一定のスポットサイズが得られます。
像面上のスポットの位置は、スキャン角度に正比例します。

テレセントリック ƒθレンズは、像面に垂直入射するビームを提供します。
これは、穴を開けたり、3次元(深さ)の表面を構造化したりするために必要です。
しかし、非テレセントリックレンズに比べて焦点面が小さくなるという欠点があります。

現在、Sill Optisでは、明確に、標準ƒθレンズとテレセントリック ƒθレンズを定義していません。
Max.Telecentricity Error [°] の値の大小で、用途あったスキャンレンズかの判断をお願いします。


レーザ用レンズ素材について

短パルスレーザや超短パルスレーザだけでなく、平均出力の高いレーザはレンズにとって重要な課題です。
レーザ加工は、通常の光学ガラスの特性に強く影響されます。
例えば、熱レンズ効果はビーム形状と作動距離ともに変化をもたらします。
この点、合成石英は光学ガラスと比較して熱影響に対する感度が低いという決定的な利点があり、
短パルス / 超短パルスレーザ光源での使用を強く推奨します。


適切なレンズ選択への確認項目

  • 入射レーザ(波長、ビーム径 (1/e²)、パワー、パルス幅等)
  • スポット径
  • スキャンエリア(Scan size)
  • 必要なワーキングディスタンス

製品一覧

Part Number Wavelength
[nm]
Focal
Length
[mm]
Scan Area
[mm x mm]
Focus
Size
(1/e²)
Max.
Beam-θ
 [mm]
Max.
Telecentricity
Error [°]
Working
Distance
[mm]
SP/USP* aperture
stop
[mm]
max.
outside-Φ
[mm]
Length
[mm]
mounting
thread
protective
window
S4LFT0710/328 1064 100 60x60 39.1 5 11.5 120.7 yes 15.0 59.2 31.0 M39x1 S4LPG3105/328
S4LFT0763/328 1064 163 100x100 45.6 7 14.6 194.1 yes 15.8 59.2 33.3 M39x1 S4LPG3105/328
S4LFT0725/328 1064 254 140x140 61.5 8 16.2 282.8 yes 15.5 59.2 33.3 M39x1 S4LPG3105/328
S4LFT3167/328 1064 163 100x100 32.6 10 11.6 200.7 yes TBA TBA TBA TBA TBA
S4LFT4010/328 1064 100 35x35 19.5 10 1.3 129.8 yes 32.0 106.0 78.7 M85x1 S4LPG2250/328
S4LFT1420/328 1064 420 280x280 58.5 14 17.3 499.2 yes 28.3 122.0 67.7 M85x1 S4LPG4160/328
S4LFT3250/328 1064 254 160x160 33.2 15 10.7 321.3 yes 32.5 159.0 91.3 M85x1 S4LPG2175/328
S4LFT3162/328 1064 163 90x90 21.2 15 5.6 201.5 yes 27.7 130.0 102.0 M85x1 S4LPG4160/328
S4LFT4127/328 1064 125 50x50 13.6 15 1.5 157.6 yes 33.5 106.0 108.2 M85x1 S4LPG2250/328
S4LFT4065/328 1064 65 15x15 9.4 15 2 83.1 yes 24.0 94.0 76.5 M85x1 S4LPG0394/328
S4LFT4147/328 1064 48 7x7 6.3 15 2.1 61.1 yes 23.8 88.0 63.0 M85x1 S4LPG3105/328
S4LFT1655/328 1064 650 410x410 63.3 20 22.5 581.6 yes TBA TBA TBA TBA TBA
S4LFT1330/328 1064 330 215x215 33.3 20 23.5 203.4 yes 38.5 163.0 179.4 M85x1 S4LPG2175/328
S4LFT0910/328 1064 910 500x500 65.8 30 16.2 1048.8 yes 46.0 154.0 80.8 M110x1 S4LPG2175/328
S4LFT3161/292 532 163 90x90 15.4 10 4.8 219 yes 26.3 122.0 98.0 M85x1 S4LPG4160/292
S4LFT4126/292 532 125 53x53 12 10 1.6 167 yes 34.6 206.0 92.2 M85x1 S4LPG2250/292
S4LFT4010/292 532 100 35x35 9.8 10 1.5 130.2 yes 30.0 106.0 78.7 M85x1 S4LPG2250/292
S4LFT4262/292 532 163 65x65 12.7 12 1.7 195.4 yes 35.2 121.0 148.1 M85x1 S4LPG4160/292
S4LFT1330/292 532 330 212x212 24.3 14 20.3 279 yes 36.0 122.0 108.4 M85x1 S4LPG4160/292
S4LFT4066/292 532 65 15x15 4.8 15 1.5 85.8 yes 24.0 94.0 73.3 M85x1 S4LPG0394/292
S4LFT4148/292 532 48 6x6 3.2 15 1.8 60 yes 23.8 88.0 64.0 M85x1 S4LPG3105/292
S4LFT1330/373 450 330 180x180 10.7 20 11.1 268.2 yes 37.5 122.0 108.4 M85x1 S4LPG2175/373 
S4LFT3250/373 450 241 115x115 10 20 7.4 304.8 yes 40.5 159.0 91.3 M85x1 S4LPG2175/373
S4LFT3170/373 450 168 75x75 7.6 20 3.2 228.3 yes 40.5 127.0 103.7 M85x1  S4LPG4160/373 
S4LFT4125/373 450 125 45x45 6.1 20 1.6 160.2 yes 40.5 106.0 106.3 M85x1  S4LPG2250/376 
S4LFT3170/075 355 163 90x90 11.4 10 4.3 221.7 yes 26.0 127.0 103.0 M85x1  S4LPG4160/075
S4LFT4262/075 355 163 65x65 10.5 10 2 193.7 yes 35.2 121.0 145.4 M85x1  S4LPG4160/075
S4LFT4125/075 355 125 53x53 8 10 1.1 156.9 yes 36.8 106.0 106.3 M85x1  S4LPG2250/075
S4LFT4010/075 355 100 35x35 6.5 10 1.2 132 yes 34.6 106.0 78.7 M85x1  S4LPG2250/075
S4LFT1330/075 355 330 210x210 15.4 14 21 260.5 yes 36.0 122.0 108.4 M85x1  S4LPG4160/075
S4LFT4067/075 355 65 15x15 3.1 15 1.8 81.7 yes 24.0 94.0 79.0 M85x1  S4LPG0394/075
S4LFT4149/075 355 48 6x6 2.1 15 2.1 69.3 yes 23.8 88.0 61.7 M85x1  S4LPG3105/075
S4LFT4263/199 266 163 70x70 9.2 10 2.6 218.4 yes 35.2 121.0 110.4 M85x1  S4LPG4160/119
S4LFT3170/199 266 154 85x85 7.7 10 3.8 208.1 yes TBA TBA TBA TBA TBA

* usable for SP=Short Pulse, USP=Ultra Short Pulse
In case of deviations from the standard portfolio and delivery times, please contact our Customer Care Team.

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