超高精度位置決めセンサーモジュール

シングルまたは、マルチビームによる測定で超高精度測長を行います。

スライダ、ステージ類の位置を精度測長するシングルビームモデルに加え、ピッチ、ヨーを同時測定できるマルチビームモデルがあります。

高精度 / 高精密のステージ調整の搭載型高性能センサーとして広く使用できます。