相対測長モデル SP-DI
超高精度位置決めセンサーモジュール
センサーヘッドから出るダブルビームにより2つの測定対象までの相対距離を測定するディファレンシャル干渉計です。
例えば、ステージとそれに載る対象物の距離、ウィンドウとその内部の対象物の相対距離を高精密測定できるモデルです。
据え付け型のセンサーとしてご使用になれます。
仕様
| SP 5000 DI | SP 5000 DI / F | |
|---|---|---|
| 測定レンジ | 5 m | 5 m |
| 分解能 | 5 pm | 5 pm |
| レーザー波長 | 632.8 nm | 632.8 nm |
| 周波数安定性 (relative) | 2.0 x 10-8 | 2.0 x 10-8 |
| 測定変位速度 (max.) | 3 m / s | 3 m / s |
| サイズ - センサーヘッド | 150 x 140 x 150 mm | 150 x 140 x 150 mm |
| 重量 - センサーヘッド | 2.0 kg | 2.0 kg |
技術資料
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