超高精度位置決めセンサーモジュール

超高精度位置決めセンサーモジュール SP-NG は、SIOS 社の測定スタンダードモデルです。

ベースとなる測定ヘッドには、いくつものオプションが用意されており、仕様 ・ 用途に合わせた選択が可能となっています。

仕様

SP 5000 NG SP 15000 NG
測定レンジ 5 m ≦80 m
分解能 5 pm 5 pm
レーザー波長 632.8 nm 632.8 nm
周波数安定性 (relative) ≦2.0×10-8 ≦2.0×10-8
測定変位速度 (max.) 800 mm / s 800 mm / s
サイズ - センサーヘッド 130 x 90 x 58 mm 227 x 90 x 67 mm
重量 - センサーヘッド 650 g 820 g max.

オプション

各種オプション アダプターも準備しています。


技術資料


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