超高精度位置決めセンサーモジュール
超高精度位置決めセンサーモジュール SP-NG は、SIOS 社の測定スタンダードモデルです。
ベースとなる測定ヘッドには、いくつものオプションが用意されており、仕様 ・ 用途に合わせた選択が可能となっています。
仕様
SP 5000 NG | SP 15000 NG | |
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測定レンジ | 5 m | ≦80 m |
分解能 | 5 pm | 5 pm |
レーザー波長 | 632.8 nm | 632.8 nm |
周波数安定性 (relative) | ≦2.0×10-8 | ≦2.0×10-8 |
測定変位速度 (max.) | 800 mm / s | 800 mm / s |
サイズ - センサーヘッド | 130 x 90 x 58 mm | 227 x 90 x 67 mm |
重量 - センサーヘッド | 650 g | 820 g max. |
オプション
各種オプション アダプターも準備しています。
技術資料
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