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デジタル2.5Dガルバノスキャナー
FOCUSSHIFTER DIGITAL II

FOCUSSHIFTER DIGITAL II はデジタル LTM (Z 軸) と F-theta レンズを搭載した、テレセントリックな加工向けの 20 ビットの位置分解能あるデジタル 3D ガルバノユニットです。最小のスポットサイズで、柔軟性、高速なガルバノスキャナーです。PWM 出力制御により、発熱が大幅に低減され、長期安定性および非常に低いドリフト値を提供します。 モジュール式で調整済み、コンパクトで堅牢な設計のため、特殊なアプリケーションに簡単かつコスト効率よく組み込むのに最適です。

FOCUSSHIFTER DIGITAL II　ガルバノスキャンシステム
  • FOCUSSHIFTER DIGITAL II　ガルバノスキャンシステム

特長

  • ワークの表面に対するフォーカスの高さを簡単に無段階で調整可能
  • デジタル制御による高速 Z 軸
  • デジタル PWM 出力ステージの採用により、電力損失と発熱を大幅に低減
  • 使用可能なアパーチャ（mm）：10、15

インターフェース

SL2-100 プロトコル (20 ビット分解能)
XY2-100 - 拡張プロトコル (16 ビット分解能)

コントロールカードとしてSP-ICE-3 または SP-ICE-1 PCIe PRO

オプティクス

使用する F-theta レンズにより、フィールドサイズや Z レンジが決まります。
カタログ例や適合性はお問合せください。

仕様

一般仕様

電源 電圧：+30 V または +48 V
電流：4 A, RMS, 最大 8 A
リップル/ノイズ：最大 200 mVpp, @ 20 MHz 帯域幅
周囲温度 +15 °C ～ +35 °C
保存温度 -10 °C ～ +60 °C
湿度 ≤ 80 % 結露なし
IP コード 54
インターフェース信号 デジタル XY2-100-拡張プロトコルl
デジタル SL2-100 プロトコル
解像度 XY2-100-E 16 ビット 12 μrad
解像度 SL2-100 20 ビット 0.76 μrad
トラッキングエラー LT-II-F (ms) 1.3
処理速度焦点レンズ (mm/s) 880

TYPE 依存仕様-DEFLECTION ユニット

機械データ：

ガルバノユニット(2D部分) SS-IV-15 QU SS-IV-15 SI SS-IV-15 SC SS-V-15 QU SS-V-15 SC
入力口径 (mm)  15 15 15 15 15
重量 (kg)  約 3.2 約 3.2 約 3.2 約 3.2 約 3.2
寸法 (L x W x H) (mm)  170.0 x 125.0 x 117.5 170.0 x 125.0 x 117.5 170.0 x 125.0 x 117.5 170.0 x 125.0 x 117.5 170.0 x 125.0 x 117.5
ビーム変位 (mm)  18.1 18.1 18.0 18.33  18.27

ガルバノメータースキャナー 仕様：

ガルバノユニット(2D部分) SS-IV-15 QU SS-IV-15 SI SS-IV-15 SC SS-V-15 QU SS-V-15 SC
典型的な振り角 (rad)  ± 0.393   ± 0.393   ± 0.393   ± 0.393   ± 0.393  
繰り返し精度 RMS (µrad)  < 2.0 < 2.0 < 2.0 < 0.4 < 0.4
位置ノイズ (RMS)  < 4.5 < 4.5 < 4.5 < 2.0 < 2.0
最大 Gaindrift (ppm/K) ※1 15 15 15 8 8
最大 Offsetdrift (µrad/K) ※1 10 10 10 15 15
水冷なしの長期ドリフト8時間(µrad) ※1 < 60 < 60 < 60 < 50 < 50
水冷ありの長期ドリフト8時間(µrad) ※1, ※2 < 40 < 40 < 40 < 30 < 30

動的データ：

チューニング VC W VC VC W H M
処理速度 (rad/s) 30V_3 45 @ 30 V - @ 30 V 50 @ 30 V 55 @ 30 V - @ 30 V 30@ 30 V 30@ 30 V
処理速度 (rad/s) 30V_3 50 @ 48 V 200 @ 48 V 65 @ 48 V 75 @ 48 V 200 @ 48 30 @ 48 V 30 @ 48 V
位置決め速度 (rad/s) 48V_3 45 @ 30 V - @ 30 V 50 @ 30 V 55 @ 30 V - @ 30 V 30@ 30 V 30@ 30 V
位置決め速度 (rad/s) 48V_3 50 @ 48 V 200 @ 48 V 65 @ 48 V 75 @ 48 V 200 @ 48 30 @ 48 V 30 @ 48 V
トラッキングエラー (ms)_ 0.21_4 0.32_5 0.18_4 0.16_4 0.22_6 0.14_4 0.18_7
フルスケールの1%での
ステップ応答時間 (ms)_8 		0.49 0.65 0.43 0.37 0.5 0.47 0.55
  • ※1
    Angles optical.軸あたりのドリフト、30 分のウォームアップ後、一定の周囲温度およびプロセス応力で。
  • ※2
    30分の暖機後、工程負荷を変化させ、水温制御を2l/分以上に設定し、水温を22 ̊Cにした。
  • ※3
    「速度の計算」を参照してください。
  • ※4
    計算加速時間約1.9×トラッキングエラー
  • ※5
    計算加速時間約2.3×トラッキングエラー
  • ※6
    計算加速時間約2.4×トラッキングエラー
  • ※7
    計算加速時間約1.7×トラッキングエラー
  • ※8
    フルスケールの1/5,000に設定

速度の計算

処理フィールドの速度= 焦点距離F-シータレンズ×位置決め速度：
例：F-Theta レンズ付きガルバノユニットf = 254mm、位置決め速度40rad/s。v = 254/1,000 x 40 = 10.1m/s

ガルバノゲイン仕様

ベクトルチューニング (VC) 処理速度を重視した幅広いアプリケーションへの最適チューニング
ウエハチューニング (W) 最高速度での長いベクトルと正確なビームガルバノに最適化されたチューニング
ハッキング (H) 高精度ビームガルバノとハッチング中の最速ビーム方向変さらに最適化されたチューニング
微細構造化 (M) 鋭角でトラッキングエラーを最小限に抑えた、高精度なビームガルバノに最適化されたチューニング

ミラーとレンズ：マウントが最適化されたスキャンミラーと対物レンズは、一般的なすべてのレーザータイプ、波長、出力密度、焦点距離、
作業照射野で使用できます。顧客固有の構成も可能である。具体的な内容および組み合わせについては、オプトサイエンスにお問合せください

オプション：SUPERSCANガルバノユニットは、電子部品および検流計スキャナーの水温制御(W)を提供します。
これにより、一定の作業条件と優れた長期安定性が確保されるため、高出力レーザーアプリケーションでも信頼性の高い動作が保証されます。
SUPERSCAN ガルバノユニットは、温度制御(N) なしでも操作できます。その結果、ドリフト値が増大することがあります。

水冷の仕様

水 ※1 添加物の入ったきれいな水道水
温度 22°C ～ 28°C
最大水圧 < 3 bar
  • ※1
    注意：冷却水を使用する場合、脱イオン水であっても、藻類の成長を防ぎ、アルミニウム部品を腐食から保護するために、適切な添加剤を使用してください。
流量 圧力降下
2 リットル/分 0.4 bar
4 リットル/分 0.8 bar
6 リットル/分 1.2 bar

添加剤の推奨事項(用量情報については、添加剤サプライヤーにご相談ください)：

標準的な工業用途：NALCO社の製品、例えばCCL105(プレミックス)またはTRAC105A_B (添加剤)
食品および飲料、包装用途：Dow Chemical社のポリプロピレングリコール(例えば、DOWCAL N)。

タイプ依存仕様-リニアトランスレータモジュール

機械データ：

LTM (Z軸モジュール) LT-II-F2-05 [TY] LT-II-F3-05 [DY] LT-II-F3-05 [Y] LT-II-F1.5-10 [C]
重量 (kg) approx. 5.3 approx. 5.3 approx. 5.3 approx. 5.3
寸法 (L x W x H) (mm) 202.0 x 159.0 x 150.0 202.0 x 159.0 x 150.0 202.0 x 159.0 x 150.0 202.0 x 159.0 x 150.0
レンズ移動量 (mm) 11 11 11 11
波長 (nm) 355 532 1,064 10,600
入力口径 (mm) 5 5 5 10
ビーム拡大係数 2 3 3 1.5

構成例：

LTM (Z軸モジュール) LT-II-F2-05 [TY] LT-II-F3-05 [DY] LT-II-F3-05 [Y] LT-II-F1.5-10 [C]
フィードサイズ (mm x mm) ※1 約 67 x 67 約 75 x 75 約 66 x 66 約 145 x 145
作動距離 (mm) ※2 345 ± 焦点範囲 228 ± 焦点範囲 222 ± 焦点範囲 264 ± 焦点範囲e
スポットサイズ 1/e※2 (µm) ※3 12 12 24 360
フォーカス範囲 (mm) ±19.0  ±17.0  ±16.0  ±9.0 
最大レーザー出力、cw (W) 100 500 1,000 500
  • ※1
    F-θレンズ[TY, DY, Y];焦点距離f = 160mm; F-θレンズ[C]焦点距離=250mm
  • ※2
    ガルバノ(XY)下端から加工フィールドまで
  • ※3
    入力ビーム品質:M2=1.0
  • ※
    製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
    メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。

アプリケーション

  • Deep cutting
  • Deep engraving
  • Creation of 3D images in glass blocks
  • Marking and structuring at various heights

技術資料

データシート

動画一覧

FOCUSSHIFTER COMPACT SIZE von RAYLASE

3D レーザーマーキングの加工例

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