デジタル3Dガルバノスキャナー
AXIALSCAN-30 DIGITAL II

AXIALSCAN-30 DIGITAL II はデジタル LTM (Z軸) を搭載した、加工フィールドが大きく、20 ビットの位置分解能あるデジタル 3D ガルバノユニットです。最小のスポットサイズで、柔軟性、高速なガルバノスキャナーです。PWM出 力制御により、発熱が大幅に低減され、長期安定性および非常に低いドリフト値を提供します。

Nd:YAG 1,064nm、SHG 532nm、THG 355nm、広帯域 400nm~1,064nm、Diode 800nm~980nm、CO2 10,600nm など各波長が選択できます。(各波長専用のガルバノシステムになります)

特長

  • 3D アプリケーションやワイドフィールド向け、かつスモールスポットサイズを実現
  • デジタル制御による高速 Z 軸 ・デジタル PWM 出力により、電力損失を大幅に低減し、発熱を最小化
  • 可変フィールドサイズ (mm x mm):100 x 100 ~1,800 x 1,800

仕様

一般仕様

電源 電圧:30 V または 48 V
電流:4 A、RMS、最大 10 A
リップル/ノイズ:最大 200 mVpp、@20 MHz 帯域幅
周囲温度 +15°C ~ +35°C
保存温度 -10°C ~ +60°C
湿度 ≤ 80 % 結露なし
IP コード 54
インターフェース信号:デジタル XY2-100-拡張プロトコル
SL2-100 プロトコル
解像度 XY2-100-E 16ビット 12 µrad
解像度 SL2-100 20ビット 0.76 µrad
総重量 約 13 kg
最大入力口径 15 mm
トラッキングエラー LT-II-15 1.3 ms
移動レンズの速度 880 mm/s

ガルバノユニット別 主要仕様

ミラー基板素材: QU = 石英  SC = 炭化ケイ素  SI =シリコン

ガルバノユニット(2D 部分) SUPERSCAN IV-30 QU SUPERSCAN IV-30 SI SUPERSCAN IV-30 SC SUPERSCAN V-30 SC
主要仕様:
ミラーサイズ(mm) 30 30 30 30
ビーム変位置(mm) 35.4 36 36 35.7
重量(kg) 約 5.5 約 5.5 約 5.5 約 5.5
ガルバノユニット固有仕様:
典型的な振り角 (rad) ± 0.393 ± 0.393 ± 0.393 ± 0.393
再現性 RMS(µrad) < 2.0 < 2.0 < 2.0 < 0.4
最大(aindrift (ppm/K)※1 15 15 15 8
最大 Offsetdrift (µrad/K) ※1 10 10 10 15
水冷なしの長期ドリフト 8時間(µrad)※1 < 60 < 60 < 60 < 50
水冷ありの長期ドリフト 8時間(µrad)※1 ※2 < 40 < 40 < 40 < 30
動的仕様:
チューニング VC VC VC FV
処理速度 (rad/s) ※3 30 @ 30 V
50 @ 48 V
35 @ 30 V
55 @ 48 V
40 @ 30 V
65 @ 48 V
30 @ 30 V
50 @ 48 V
位置決め速度 (ms) ※3
30 @ 30 V
50 @ 48 V
35 @ 30 V
55 @ 48 V
40 @ 30 V
65 @ 48 V
30 @ 30 V
50 @ 48 V
トラッキングエラー (ms) 0.48 ※4 0.43 ※4 0.30 ※4 0.24 ※5
フルスケール (ms) ※6
1%でのステップ応答時間
1.2 1 0.8 0.65
  • ※1
    光学的角度。一定の周囲温度およびプロセス応力で、30 分間のウォームアップ後の軸ごとのドリフト
  • ※2
    30 分間のウォームアップ後、プロセス負荷を変化させた場合、水温制御を 2 l/min 以上、水温 22℃に設定した場合
  • ※3
    「フィールドでの計算速度」を参照してください。
  • ※4
    計算加速度時間 約1.8×トラッキングエラー
  • ※5
    加速度計算時間 約1.7倍のトラッキングエラー
  • ※6
    フルスケールの1/5,000に設定

フィールドの計算速度

1rad/s @ ± 0.393rad deflection (45°) 0.12m/s (100mm 作業フィールドサイズ)
例 : AXIALSCAN-30(スーパースキャン IV-30-SC付き)、作業照射野サイズ400mm×400mm (照射野係数 = 4)、位置決め速度65rad/s:
=> 65 x 0.12m/s x 4 = 31.2m/s
注意 : どの制御カードが使用されるか、レーザージョブ内容、フィールドサイズ、および光学構成、Z軸などの諸条件より、低い速度になる場合もあります。

  • 製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
    メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。

アプリケーション

Scribing
Cutting
Perforating

Welding
Packaging Industry
Drilling

Micro-material processing
Processing of moving parts

3D applications
Additive manufacturing


技術資料

データシート


動画一覧

3D レーザーマーキングの加工例

AXIALSCAN-30アライメント手順

Step

  • Required tools(0:38)
  • Alignment and collimation of laser beam(1:09)
  • Pre-setting the field size(2:40)
  • Mechanical adjustment(4:09)
  • Focal adjustment with Linear Translator(5:03)
  • Fine focal adjustment in Software weldMARK(5:53)
  • Control focus results(7:08)

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