デモ機あり

フルデジタル２Dガルバノスキャナー
SUPERSCAN V

２軸ガルバノユニット

SUPERSCAN V は SL2-100 プロトコルの 20 bit の分解能を持つ、ツインシェル設計のフルデジタルスキャンヘッドシリーズです。

繰り返し精度や温度、ロングタームドリフトが大幅に改善していまして、ラインナップ最高のパフォーマンスと品質になります。

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特長
オプション
ミラーとレンズ
SS V-15 仕様
アプリケーション
技術資料

特長

フルデジタルコントロール
ミラー位置、ミラースピード、温度のリアルタイムモニタリング
20 Bit 分解能（SL2-100 or XY2-100）
アパーチャ径：15, 30 mm（※順次追加ラインアップ予定）

フルデジタルコントール

オプション

水冷
air-cooling
ハイスピード版（シリコンカーバイドミラー使用）

ミラーとレンズ

YAG 1,064nm、倍波 532nm、3倍波 355nm、広帯域 400nm〜1,064nm、Diode 800nm〜980nm、CO₂ 9.3µm～10,6µm

※

各波長専用のガルバノシステムになります。

QU (クオーツ)、SI (シリコン)、SC (シリコンカーバイド：軽量)、BE (ベリリウム：軽量) など各種ミラー素材を用途に合わせて選択できます。

SS V-15 仕様

GENERAL SPECIFICATIONS

Power Supply	Voltage：30 V～48 V Current：2 A RMS, max. 10 A Ripple Noise：Max. 200 mVpp, @ 20 MHz bandwidth
Ambient Temperature	Interface Signals Digital
Humidity	≤ 80 % non-condensing
IP Code	65
Interface Signals Digital	XY2-100-Enhanced Protocol SL2-100 Protocol
Typical deflection	± 0.393 rad
Resolution XY2-100-E 16-Bit	12 µrad
Resolution SL2-100-20-Bit	0.76 µrad
Repeatability (RMS)	< 0.4 µrad
Position noise (RMS)	< 2.0 µrad
Temperature Drift	Max. Gaindrift ^※1：8 ppm/K Max. Offsetdrift ^※1：15 µrad/K
Long-term drift 8 h without water tempering ^※1	< 50 µrad
Long-term drift 8 h with water tempering ^{※1, ※2}	< 30 µrad

※1

Drift per axis, After 30 min warm-up, at constant ambient temperature and process stress,
※2

After 30 min warm-up, under varying process loads, with water temperature control set for ≥ 2 l/min and 22 ̊C water temperature.

APERTURE DEPENDENT SPECIFICATIONS – MECHANICAL DATA:

	SUPERSCAN V-15
Input Aperture [mm]	15
Beam Displacement [mm]	18.27 (SC), 18.33 (QU)
Weight, (without objective) [kg]	approx. 3.2
Dimension (L x W x H) [mm]	170.0 x 125.0 x 117.5

APERTURE DEPENDENT SPECIFICATIONS – MIRROR VARIATIONS:

Wavelengths	Substrate
355 nm	SC, QU
405 nm	QU
532 nm	SC. QU
1,064 nm	SC, QU
10,600 nm	SC
AG	SC

TYPE DEPENDENT SPECIFICATIONS – TUNING:

Microstructuring tuning	Optimized for high precision beam deflection with sharp corners and minimized tracking error

TYPE DEPENDENT SPECIFICATIONS – DYNAMIC DATA

Deflection unit	SUPERSCAN V-15-QU	SUPERSCAN V-15-SC
Mirror type	QU	SC
Tuning	Microstructuring	Microstructuring
Writing speed (cps) ^※1	600	800
Positioning speed (rad/s) ^※2	30	30
Tracking error (ms) ^※3	0.18	0.14
Step response time at 1% of full scale (ms) ^※4	0.55	0.45

※1

With F-Theta lens f = 163 mm / field size 120 mm x 120 mm, Single-stroke font with 1 mm height.
※2

See "Calculation speed".
※3

Calculation acceleration time approx. 1.7 × tracking error.
※4

Setting to 1/5,000 of full scale.

Calculation of speed
Speed in working field = focal length f-theta lens x positioning speed:
Example: SUPERSCAN V-15-QU/SC with f-theta lens f = 163 mm, positioning speed 30 rad/s v = 163/1,000 x 30 = 4.9 m/s

Mirrors and Lenses: Scan mirrors and objectives with optimized mounts are available for all typical laser types, wavelengths, power densities, focal lengths and working fields.
Customer specific configurations are also possible.

Options: The SUPERSCAN V deflection unit provides two types of water temperature control (W) for the electronic components and galvanometer scanners, straight (W) connectors and 90° (W2).
This ensures constant working conditions and excellent long-term stability.

WATER TEMPERATURE CONTROL

Water ^※1	Clean tap water with additives
Temperature	22°C – 28°C
Max. water pressure	< 3 bar

Flow rate	Pressure drop
2 l/min	0.4 bar
4 l/min	0.8 bar
6 l/min	1.2 bar

※1

Caution: When using cooling water including deionised water, suitable additives must be used to prevent the growth of algae and protect the aluminium parts against corrosion.

※

製品仕様は改良などにより、予告なしに変更となる場合あります。
メーカーHPにアップロードされている最新の仕様も併せて必ずご確認ください。

アプリケーション

Marking
Welding
Drilling or structuring of semiconductor wafers, medical products and security features of documents and chip cards

技術資料

データシート

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フルデジタル２Dガルバノスキャナー SUPERSCAN V

特長