Phi Drive

サブナノ分解能の小型ステージ

Phi Drive社はピエゾアクチュエーターをベースとした高精度なマニピュレータやステージメーカーです。
半導体業界を含む顧客のカスタマイズ要求に対応しています。

ユーザーの装置の組み込みに適したサイズ、ほかの機器（パワーメーターや光源など）との連動が容易な
シリアルコミュニケーションでの駆動となります。