60x60 mmのフットプリント

特長

  • 2mm travel range
  • 最大3度の傾きと+/-5度回転
  • 100nmの設定分解能(モーター)
  • 最小で0.7nmの補正分解能(ピエゾ)
  • バックラッシュとドリフトなし
  • 40gペイロード
  • オ-プンル-プ and/or クローズドループ駆動
  • DUTや治具に合わせたカスタマイズ可能

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PHI-SS-6DOF|6自由度ナノポジショニングステージシステム (Nanopositioning stage system with 6 degree of freedom: PHI-SS-6DOF)


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