［UV / VIS / SWIR / IR 対応］
高性能 ・ 高分解能 波面センサー SID4シリーズ
Phasics社では、UV / VIS / SWIR / IR の波長領域に合わせたセンサーをベースに、高精度波面センサー SID4シリーズを開発製造しています。
これらの製品は、レーザー測定、光学計測、天文学、防衛、宇宙、半導体製造などの用途やマーケットで利用されています。
動作波長別に、UV / VIS / SWIR / IR の4カテゴリーに分けてご紹介します。
UV対応モデル
UV領域に波長感度をもつ波面センサーです。 半導体向け光学部品の特性評価（リソグラフィー、半導体製造、検査）および表面検査（レンズとウエハ）などの用途に最適です。
VIS対応モデル
可視域～近赤外域に感度をもつ波面センサーです。 レーザー評価、レンズや様々な光学部品などあらゆる光学計測アプリケーションに使用できます。
また、市場初の真空対応や 位相イメージングに使用できる超高解像度波面センサーなど多彩な機種をラインアップしています。
SWIR対応モデル
SID4 SWIR / SID4 SWIR HRは、InGaAsセンサーを搭載しており、主に光通信、半導体検査機器、宇宙 / スペース関連の光学機器の評価などに使用されます。
また SID4 eSWIR / SID4 eSWIR HRは、T2SLセンサーを使用しており、1.2µm～2.2µmの拡張SWIRをカバーする唯一の波面センサーです。
SID4 eSWIR HR
動作波長 ： 1.4µm～2.1µm
測定ポイント ： 159x127
近赤外拡張型センサー高解像度タイプ
IR対応モデル
3～5 µm および 8～14 µmのデュアルバンド赤外線用の初の既製の高解像度波面センサーです。
IR光学系、黒体光源、3.39µm または 10.6µmのレーザービーム、およびシステムの特性評価に適しています。
参照
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