波面計測と波面センサー
波面センサーとは ?
波面センサーは、光波面を測定するために使用される計測ツールです。
一般的に『波面センサー』という言葉はさまざまな機器で使用されますが、特にフィゾー干渉計や トワイマングリーン干渉計などで代表される干渉計とは異なり、参照ビームを必要とせずに独立して動作する波面測定装置のことを指します。 波面センサーに使用される主な技術は、『シャックハルトマン干渉法』と『横方向せん断干渉法』です。
Phasics社の波面センサーは、四辺形シアリング干渉法（Quadrilateral）に基づいています。 この技術の詳細と、シャックハルトマン型波面センサーやフィゾー干渉計と比較した利点については、『QLSI波面センシング技術』のページをご覧ください。
- QLSI波面センシング技術（ページ制作中）
- QWLSI wavefront sensing technology
なぜ波面センサーを使用するの ?
波面センサーは、さまざまな業界で幅広い用途があります。 表面プロファイルや反射波面エラーの測定、透過波面エラーの評価、MTFの評価などの『光学系のテストとアライメント』や『レーザーの補償光学』などで広く使用されています。
さらに、『材料検査』や『定量位相イメージング』にも使用されます。
フォトニクスに関連するほぼすべての業界で、波面センサーの使用が役立ちます。 各業界での波面センサーの特定の用途の詳細については、『アプリケーション ・ マーケット』のページをご覧ください。
Phasics社の波面センサーの利点
高解像度
- 干渉法による波面計測
- 最大850 x 720の波面測定ポイント
- シャックハルトマン型と比べて 4倍の解像度
高精度
- 10nm RMS（λ/100 @ 1ミクロン）の波面絶対精度を実現
- 1nm RMS（λ/1000 @ 1ミクロン）までの波面感度
幅広い製品ラインアップ
- モデルは波長レンジごとに UV～LWIRまで
- UV / VIS / SWIR / MWIR / LWIR 対応モデル
- 測定波長レンジ内であれば別途校正は不要
