EUV 領域の Schwarzschild 対物鏡
Schwarzschild 対物鏡は大きなアパーチャと高い機械精度をもち、色収差がないことから EUV 領域のイメージングオプティクスとして年々多く使用されています。
Schwarzschild 対物鏡は球形凸第一ミラーと球形凹第二ミラーで構成されています。ふたつのミラーは高精密に研磨され Mo/Si 多層膜コーティングが施されています。光学パーツはストレスフリーで固定ヒンジを使用して固定されるため機械的に非常に安定しています。使用中にミラーの調整を行うことも可能です。
光学パスの概略図
対物鏡アッセンブリーの概略図
特長
- 回折限界での性能
- 光学面の変形：0.4 nm rms
- 光学面の粗さ：0.2 nm rms
- 光学面の研磨精度： 横方向の不整列 1.7 µm、軸オフセット10 µm 軸オフセット
- 光学部品の低ストレスマウント
- 炭化水素フリーのマウント設計
仕様
Schwarzschild 対物鏡
| 20x | 10x | |
|---|---|---|
| 倍率 | 21.34 | 9.8 |
| NA | 0.2 | 0.44 |
| 焦点距離 | 26.95 | 53.06 |
| 波長 | 13.5 nm | 13.5 nm |
| ミラー１ | ||
| 曲率 | 100 mm | 140 mm |
| 直径 | 52 mm | 106 mm |
| ミラー２ | ||
| 曲率 | -35 mm | -175 mm |
| 直径 | 11 mm | 48 mm |
πSr 集光ミラー
| 反射率 | > 60 % |
|---|---|
| 波長 | 13.5 nm |
| 直径 | 250 mm |
| 曲率 | 160 mm |
| Lens sag | 40 mm |
カスタマイズ
- 特殊用途の Schwarzschild 対物鏡の製作
- 波長範囲 12.5 nm～25 nm で横に段階的な Mo/Si 多層膜コートを施した Schwarzschild 対物鏡
- ミラーを使ったシステムの外形、設計および実現
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