optiX fab

optiX fab社は、Fraunhoferからスピンアウトした、極端紫外線や軟X線で多くの実績のあるメーカーです。
「水の窓」用の反射ミラーを提供しています。

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製品ラインアップ
仕様

製品ラインアップ

EUV 領域の Schwarzschild 対物鏡

Schwarzschild 対物鏡は大きなアパーチャと高い機械精度をもち、色収差がないことから EUV 領域のイメージングオプティクスとして年々多く使用されています。
軟X線用 Cr/Sc 多層膜ミラー

Cr/Sc 多層膜は軟X線領（3.1 nm to 5 nm）の光学部品の反射コーティングとして使われます。
EUV ブロードバンドミラー

大きく曲率のある材質へコーティングができるようになり、EUV ブロードバンドミラーは広域のプラズマ源とともに使用できるようになりました。
EUV ナローバンドミラー

通常 EUV 範囲の多層膜ミラーは狭波長範囲（通常：Δλ≈0.5nm at λ=13nm）のためモノクロメーターとして使用されてきましが、新しいコーティングデザインはこの分解能の問題を改善しました。
35nm～50nm 領域用
Sc/Si 多層膜オプティクス

35nm～50nm 範囲のミラー、ビームスプリッター、偏光子やモノクロメータなどのアプリケーションに使用できます。

仕様

軟Ｘ線、EUV 用多層膜オプティクス

	反射率	波長	半値幅	レイヤー数
Mo/Si ミラー	68.80 %	13.5 nm	0.50 nm	60
Mo/Si/C ミラー	69.60 %	13.5 nm	0.51 nm	60
ブロードバンドミラー	> 18 %	13～15 nm	2.30 nm	57
ナローバンドミラー	14.60 %	13.50 nm	0.077 nm	40
Cr/Sc ミラー	17.30 %	3.11 nm	0.008 nm	600
Sc/Si ミラー	56.60 %	44.70 nm	5.5 nm	20

高温用多層膜オプティクス

	反射率	使用温度	期待寿命
MoSi2/Si	35 %	< 400 degC	> 100 hrs
Mo/C/Si/C	60 %	< 250 degC	> 100 hrs

「水の窓」water window 帯域用多層膜ミラー

お問い合わせの際は、下記項目をお知らせください。

中心波長
反射バンド幅（FWHM)
ご必要な最低反射率と入射角、偏光
基板サイズや形状
数量

反射カーブの各サンプル

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