Xarion Laser Acoustics

レーザマイクロホン / ハイドロホン

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超音波領域の音響を利用したプロセスモニタリングに！！

  • 半導体、セラミックス、ガラスなど、プロセス中の破損検出に！
  • レーザ溶接不良、工作機器の工具摩耗のモニタリングに！
  • 環境騒音の影響を受けない超音波領域での監視モニタリング！

XARION Laser Acoustics は、レーザを使用したメンブレンフリーの音響センサのプロバイダです。音波が伝搬する際に生み出される媒質の粗密を直接光で検出する新しい方式のセンサです。

センサヘッド部分には、機械的に動作する部品が使用されていないので、機械的共振応答のない線形周波数応答となっています。
加えてセンサヘッド部分には金属が使用されていないので EMI の影響を受けません。

【原理】

媒質中を伝搬する音波は縦波です。 音の伝搬方向に対してごくわずかな空気の
粗密（屈折率）を変化させながら進んで行きます。

2 つの小型ミラーで構成される Xarion のセンサヘッドは、ファブリペロー干渉計の構造を持ちます。
そこを通る音波により生み出された空気の粗密をレーザの強度変化へ直接変換することができます。
従来のマイクロホンとは異なり可動部品のない世界初のマイクです。

一切の機構部品、金属をセンサプローブに使用していないXarionの製品は、これまでの AE センサや
マイクロホンでは不可能であった 10Hz～1MHz までの広い可聴範囲を一台で実現しています。

原理


【特長】

センサーヘッドに可動部なし、これまでにない広い周波数帯域、真のインパルス応答。
レーザマイクロホンのユニークな機能をご覧ください。

  • 10 Hz ～ 1 MHz（大気）、～25 MHz（水中）までの非常に広い超音波周波数範囲
  • 既存の先端技術よりもさらに 10 倍大きな音響及び超音波の検出
  • 完全な線形周波数応答
  • 大気中、水中での音響の検出（モデルが異なります）
  • 非常に高い音圧レベルの認定　（最大 190 dB）
  • 可動部品がないので真の時間的インパルス応答
  • アレイ構造での固有の位相一致
  • センサヘッド部は金属部品なし。強い磁界フィールド下でも使用可能です。
計測 非破壊検査 プロセス制御

プロセスモニタリング

  • 半導体、セラミックス、ガラス類など、プロセス中の破壊、破損検出
  • レーザ溶接をはじめとするスポット、シームレス溶接時の加工モニタリング
  • 工作機器の工具摩耗モニタリング

音響評価

  • 超音波溶着、超音波センサなどの評価
  • フェムト秒レーザの焦点位置検出
  • 音響による欠陥品検出

光音響イメージングなど

非破壊検査