SIOS Meßtechnik (SIOS)

高精度レーザー干渉計 ・ 精密ポジショニング計測システム

SIOS Meßtechnik社製(以下 SIOS社) 高性能レーザー干渉計を使用した高精度 ・ 精密位置決めを可能とする計測モジュールのご紹介です。
計測器本体内にエレクトロニクスと基準レーザー(He-Ne)を収納しているので、測定ヘッドが小型、軽量です。
ステージ類の高精度位置合わせ、工作機器 ・ 3D測定器の性能評価 / キャリブレーションなど、高精度、高分解能を求めるアプリケーションで威力を発揮します。

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