長さ測定、角度測定

SIOS社のSPシリーズは、マイケルソン干渉計の構造を持ったレーザー変位計です。 19インチラック本体に搭載されたHeNeレーザーは光ファイバーで測定ヘッドに導入され、2本のビーム（それぞれ『リファレンスビーム』と『測定ビーム』）に分割されます。

『測定ビーム』が測定対象の表面から反射された後、センサーヘッド内に戻り『リファレンスビーム』と干渉します。 この時、観測される干渉縞から測定対象物までの距離を精密に測定します。

SP-NG, SP-DS, SP-TRシリーズ

測定ヘッドから放たれる測定ビームは測定対象で反射し、測定ヘッドに戻ります。 複数本のビームが放たれるユニットでは、各ビームの距離差から、測定対象物までの距離、ピット、ヨーそれぞれを同時にリアルタイムに測定することが可能です。

SP-DI（ディファレンシャルタイプ）

SP-DIシリーズは、2つの測定対象物の距離差（ディファレンシャル）を測定します。 測定ヘッドで分割されたビームは、独立した測定対象物に照射されます。 いずれのビームも大気の変動を受けることになりますが、互いに誤差を相殺する構造となっているため、長時間、また変化する気温などの影響を受けにくく、非常に安定した測定結果が約束されます。 ディファレンシャル測定で、距離、ピッチ、ヨー を同時にリアルタイムに測定可能なタイプもあります。

1. 高精度安定化 HeNeレーザーを搭載

19インチラック本体に 高精度安定化 HeNeレーザー（ヘリウムネオンレーザー）を搭載し、測定結果が熱放射の影響を受けないよう光ファイバーを介して測定ヘッドに導入されています。

2. インターフェース

USBポートでPCへの接続をはじめ、トリガー信号の送受信、測長データをデジタル、アナログ信号として吐き出すインターフェースもご用意しています。 APIを使用して外部機器とのインテグレーションも可能です。

3. InfasNTC（ベーシックソフトウェア）

— リサージカーブによる簡単アライメントサポート機能。
— 環境センサー（温度、湿度、気圧）による測定補正。
— 用途に合わせてサンプリングレートをユーザーが設定。
— グラフ、数値で測定結果を一括表示。
— すぐに測定が始められます！

4. アッベエラー / アライメントエラー なし （※ SP-TRシリーズ）

SP-TRシリーズは、距離、ピッチ、ヨーの 3軸同時測定するので、各エラ－がピッチ角として表示されます。 これにより設置ミスによるエラーをなくすことが可能です。

アッベエラー（Abbe Error）

アライメントエラー（Alignment Error）