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高精度レーザ干渉計・
精密ポジショニング計測システム

高性能レーザ干渉計を使用した高精度・精密位置決めを可能とする計測モジュールのご紹介です。
計測器本体内にエレクトロニクスと基準レーザ(He-Ne)を収納しているので、測定ヘッドが小型、
軽量です。
ステージ類の高精度位置合わせ、工作機器・３D測定器の性能評価 / キャリブレーション等、
高精度、高分解能を求めるアプリケーションで威力を発揮します。