高精度レーザ干渉計・
精密ポジショニング計測システム
高性能レーザ干渉計を使用した高精度・精密位置決めを可能とする計測モジュールのご紹介です。
計測器本体内にエレクトロニクスと基準レーザ(He-Ne)を収納しているので、測定ヘッドが小型、
軽量です。
ステージ類の高精度位置合わせ、工作機器・3D測定器の性能評価 / キャリブレーション等、
高精度、高分解能を求めるアプリケーションで威力を発揮します。
HOME>製品カテゴリ>システム・装置>光応用 検査/計測機器>精密ポジショニング計測システム>SIOS Meßtechnik GmbH
HOME>製品カテゴリ>光学デバイス・コンポーネント>レーザ光源>He-Ne レーザ>SIOS Meßtechnik GmbH
高性能レーザ干渉計を使用した高精度・精密位置決めを可能とする計測モジュールのご紹介です。
計測器本体内にエレクトロニクスと基準レーザ(He-Ne)を収納しているので、測定ヘッドが小型、
軽量です。
ステージ類の高精度位置合わせ、工作機器・3D測定器の性能評価 / キャリブレーション等、
高精度、高分解能を求めるアプリケーションで威力を発揮します。