ナノサイエンス＆表面科学 研究用機器

EG シリーズ

ミニｅ-ビームエバポレータ

超高純度膜の作製に利用されています。UHV 環境下での極薄膜作製に最適です。

TC シリーズ

サーマルガスクラッカ

電子ビーム加熱技術を利用しガス分子を低パワー（< 60W）で効率よく解離します。

PLV1000

ピエゾガスドーザ

UHV の装置に適合したオールメタルのリークバルブで内蔵圧電素子を用いて制御。

HD シリーズ

RF アトムソース

RF 放電を利用した中性ビームの発生源です。

サドルフィールド ファーストアトム
ビーム（FAB）ソース

電荷を持たない中性の直線ビームを生成します。

IG5

低コストイオンソース

低いガス流量レートで作動する冷陰極イオン源でイオンクリーニング等に理想的です。