ピエゾエレクトリックガスドーザー
PLV1000
PLV1000 ピエゾエレクトリックガスドーザは、UHVの装置に適合したオールメタルのリークバルブで、内蔵された圧電素子を用いて制御されます。
電圧の印加によって内部の圧電素子に歪みが生じ、この現象を利用して内部で強力なスプリングによりシートに押付けられているセラミックスプランジャを引き上げ、流量をコントロールします。
ノーマルクローズの設計になっており、小型の電源からパワーが供給されます。また、バルブの取付場所が手の届かない場所や危険な場所であっても遠隔操作が出来るようになっております。
特殊仕様でオゾンガス対応も出来ます。
特長
- リモートコントロール
- オールメタル
- UHVに適合
- 超微量コントロール
- PCコントロール
上図のグラフは３kV旧モデルのものですが、
現行の１kVモデルでも同様の結果が得られています。
仕様
| Model | PLV1000 |
|---|---|
| Mounting | NW16CF (inlet and outlet), VCR inlet on request |
| Stack voltage | 0 ～ 1000V |
| Gas leak rate | 5 x 10-10 to 5 x 10-2 torr.l.s-1 |
| Minimum pulse duration | 20 ms |
| Operation temperature | Ambient |
| Power-off state | Closed |
| Options | PC interface for serial communication |
用途
- 極微量ガス導入
- MBEガス導入
- ガスパルシング：ガスパルシング時のMinデュレーション 20ｍsec
- システム圧力コントロール
技術資料
データシート
この製品に関するお問合せフォーム
フォームが表示されるまでしばらくお待ちください。
しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合、恐れ入りますが こちら までお問合せください。