MRC Systems

レーザビーム安定化システム システム構成

レーザビーム安定化システム “Compact”

レーザビーム経路に対して簡単にインストレーションできるスタンドアロンなシステムです。
簡単な操作と統合に特長づけられます。
“Compact” システムは信頼できるとても正確なビーム位置と方向安定性を導き、擾乱を補正します。
ピエゾ作動ミラーをセットアップ時の既存ミラー位置に置き換えることができます。


レーザビーム安定化システム “Compact”

通信と可視化ソフトウェア

“Compact” レーザビーム安定化システムはオプションで、シリアルインターフェースを
装備することができます。
このインターフェースはパラメータのセットと、数値の読みだしを可能にします。
通信は USB で行われますが、RS-232 を選択することも可能です。
関係するソフトウェアはこのインターフェースを利用し安定化システムと通信します。
このソフトウェアは位置、強度、ピエゾ電圧をリアルタイムで表示し、
安定化システムをコントロールするいくつかの機能を含んでいます。


通信と可視化ソフトウェア

ディテクタ

お客様のレーザとアプリケーション、それぞれに理想的なディテクタを提供しています。


スタンダードモデル(4QD センサ)

モデル Si4-QD Wide-Intensity 4-QD
Si4-QD Wide-Intensity 4-QD
ディタクタタイプ 4 分割 Si PIN PD 4 分割 Si PD 
対応波長 320 - 1100 nm 320 - 1100 nm
受光エリア 10 x 10 mm² 10 x 10 mm²
製品概要 4 分割 Si フォトダイオードを使用した位置センサディテクタです。ビームのポジションを表す LED クロスバーと入射パワーインジケータを持つスタンダードなディテクタです。 検出する信号増幅範囲が Si4-QD より広く、自動的に強度変化に対応するディテクタです。加工プロセス内やご実験途中で光強度変調するレーザにお使いください。光学フィルタ交換なしで、1000 倍までの強度変動に対応可能です。

UV/FIR 対応モデル(4QD センサ)

モデル UV 4-QD 3x3 IR 4-QD (Ge) IR 4-QD InGaAs
UV 4-QD 3x3 IR 4-QD (Ge) IR 4-QD InGaAs
ディタクタタイプ UV 対応 4 分割 Si PD 4 分割 Ge PD 4 分割 InGaAs PD
対応波長 190 - 1100 nm 800 - 2000 nm 900 - 1700 nm
受光エリア 3 x 3 mm² 5 x 5 mm² Φ3 mm
製品概要 深紫外 190nm から対応した位置センサディテクタ。受光エリアは標準モデルより小さく 3x3mm となっております。 800~2000nm までの中赤外帯域に対応した位置センサディテクタ 900~1700nm までの SWIR レーザに対応した、InGaAs 位置センサディテクタ

小径ビーム対応モデル(PSD センサ)

モデル PSD for VIS PSD for UV
PSD for VIS PSD for UV
ディタクタタイプ 位置センサディテクタ(PSD) 位置センサディテクタ(PSD)
対応波長 320 - 1100 nm 200 - 1100 nm
受光エリア 9 x 9 mm² 10 x 10 mm²
製品概要 受光部分を連続的なエリアとして検知します。非常に小さいなビーム径や集光されたビームに最適です。また、外部シグナルにより任意のポイントをターゲットポイントして位置調整することが可能です。 受光部分を連続的なエリアとして検知します。非常に小さいなビーム径や集光されたビームに最適です。また、外部シグナルにより任意のポイントをターゲットポイントして位置調整することが可能です。

ピエゾ ミラーマウント

お客様の要求仕様に応じて数種類のピエゾ ミラーマウントをご用意しています。
※ミラーはお客様にご用意いただきます。


モデル P2S30 P4S30
P4S30 P4S30
チルトレンジ 機械角度 2 mrad ± 1 mrad 4 mrad (± 2mrad) 
光学角度 4 mrad 8 mrad 
粗調整(手動) ± 4.5° ± 4.5°
搭載ピエゾ数 2 Piezo stacks integrated 4 Piezo stacks integrated
High resonant
frequencies
> 1,200 Hz (with 1 inch mirror) > 1,200 Hz (with 1 inch mirror)
~ 300 Hz (with 2 inch mirror)
High stabilisation
bandwidths 
> 400 Hz (with 1 inch mirror) > 400 Hz (with 1 inch mirror)
> 100 Hz (with 2 inch mirror)
製品概要 P2S30は1インチ径ミラーのみ対応した、ピエゾ2個を搭載したマウントです。左右どちらかの裏面に参照光が通り抜ける構造となっております。 P4S30は、光学角度 ±4 mrad(機械角度 ±2 mrad)の快適な傾斜範囲を持っています。本ミラーマウントは、より大きなミラー(> 1'')にもお勧めです。PKS、PSHマウントと比較して、2つのマウントが一体化されています。4本のピエゾを搭載し、より高い剛性と高い共振周波数を実現しています。

モデル PSH PKS

PSH PKS

※PSHとPKSマウントは現在、特注対応品となっております。

チルトレンジ 機械角度 2 mrad (± 1 mrad)  1 mrad (± 0.5 mrad) 
光学角度  4 mrad  2 mrad optical
粗調整(手動) ± 5° ± 2°
搭載ピエゾ数 2 Piezo stacks integrated 2 Piezo stacks integrated
High resonant
frequencies
~ 840 Hz (1'' mirror) ~ 700 Hz (1'' mirror)
High stabilisation
bandwidths 
   
製品概要 ミラーマウント PSHは、±1mrad の傾斜範囲があります。また、ゼロポジションへの事前調整を手動で行うこともできます。ミラーマウントは、強化されたスプリングとバランスウエイトにより小さいトルクで調整可能です。標準マウントは1'径ミラー用です。オプションにて1.5インチ径ミラー用のアダプタを使用可。ディテクタはミラーの後ろに設置してミラーで漏れ光を検出します。フリーアパーチャは、ビーム径8mmまでのビームに適しています。 ミラーマウント PKSの傾斜範囲は ±0.5mradで、PSHやP4S30マウントの傾斜範囲よりも小さくなっています。それに比べて、ミラーの後ろの自由空間が広くなっており、ミラーの後ろにディテクタを設置して漏れ光を検出することができます。フリーアパーチャは13mmである。マウントは手動で粗調整が可能です。


特殊用途向け対応

大型ミラー対応

  • 大型ミラー対応
  • 大型ミラー対応

より大きいミラーへの対応も可能です。
上図の製品は4インチのミラーに対応した ピエゾ ミラーマウントです。

真空対応

  • 真空対応
  • 真空対応

真空環境でも適用可能なアクチュエータを提供しています。
上図の製品は真空圧 10-11mbar まで使うことができます。

オプション

レーザシャッタ

レーザシャッタシステム “Beamblock” がビーム安定化システムとともに設計されていますが、独立に使うことも可能です。
レーザシャッタとシャッタコントロールユニットで構成され、異なるオペレーションモード(外部、固定、マニュアル)で
使用可能です。
シャッタとシャッタコントローラの詳しい仕様はユーザマニュアルをご覧ください。

レーザシャッタ

標準レーザシャッタとは別に、カスタマイズされたアイテムも提供可能です。
たとえばミニチュアシャッターが下の画像には示されています。これは限られたスペースで使う場合有効です。


レーザシャッタ

リアルタイム位置ディテクタ “XY4QD” と “XYPSD”


リアルタイム位置ディテクタ “XY4QD” と “XYPSD”

信号処理を統合するこれらのディテクタはレーザの変動を最高の空間および時間解像度で決定します。
測定原理によりシングルレーザパルスでも検出可能です。
したがって、位置決めディテクタはレーザの性質と品質保証を与えることができます。
ディテクタはパワーレベルと、X, Y 位置を LED ディスプレイで表示するよう装備されています。


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